申请/专利权人：浙江大学杭州国际科创中心

申请日：2023-12-19

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117928370A

主分类号：G01B9/02

分类号：G01B9/02;G01B11/24;G01S17/08;G01S7/481

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明公开了一种扫频干涉表面结构检测系统和方法，涉及面型检测和扫频激光领域。该系统主要包括扫频激光产生单元、干涉单元、扫描探测单元和信号处理单元。本发明与现有技术相比，本发明中采用单点光电探测器采集干涉光信号，通过单点计算的方式进行相位解算，通过解算光电探测系统每个位置获得的干涉信息获得待测表面每个位置的距离信息，实现高精度的表面结构检测，可以达到纳米量级。使用位移台扫描的方式移动探测器探测扫频干涉光，可以实现大范围、高精度的测量。由于单点探测器接收速度远高于面阵探测器，在扫描范围较小时本发明可以实现快速探测。

主权项：1.一种扫频干涉表面结构检测系统，其特征在于，包括：扫频激光产生单元，用于产生频率随时间变化的信号激光；干涉单元，包括参考面，所述干涉单元通过将所述信号激光分束后分别照射到参考面与待测面上，并分别经过反射后再次合束成扫频干涉光；扫描探测单元，用于接收所述扫频干涉光并将光信号转化为电信号，所述扫描探测单元包括单点光电探测器和控制所述单点光电探测器移动的位移台，所述单点光电探测器每次接收一个位置的完整的扫频干涉光，然后所述位移台移动所述单点光电探测器用以接收下一个位置的完整的扫频干涉光，直到实现整个待测面各个位置的所述扫频干涉光均被所述单点光电探测器接收；信号处理单元，用于解算扫描探测单元接收到的各个位置的扫频干涉光信号所转化的电信号，获得待测面与参考面之间的相位差，从而获得待测面单点的距离信息，得到的各个位置距离信息根据扫描数顺序重新组合获得待测面的表面结构信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江大学杭州国际科创中心 一种扫频干涉表面结构检测系统和方法

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