申请/专利权人:天水华天科技股份有限公司
申请日:2024-01-22
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN117936437A
主分类号:H01L21/673
分类号:H01L21/673
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要:本发明提供一种IC产品烘烤盘及其使用方法,包括盖板和底盘,所述盖板与和底盘可拆卸连接,所述盖板和底盘之间沿第一方向间隔贯穿设置有多级产品通道槽,所述底盘沿第二方向间隔设置有方槽,所述方槽内部卡接有金属条,所述第一方向和第二方向垂直,且所述方槽贯穿产品通道槽;本申请通过方槽和金属条能够代替现有相关技术中冲制的凸起结构,进而降低类限位装置的难度,同时,本申请中的产品通道槽便于加装和收集IC产品,同时,本申请强度高结构稳定,操作简单。
主权项:1.一种IC产品烘烤盘,其特征在于,包括盖板2和底盘3,所述盖板2与和底盘3可拆卸连接,所述盖板2和底盘3之间沿第一方向间隔贯穿设置有多级产品通道槽9,所述底盘3沿第二方向间隔设置有方槽5,所述方槽5内部卡接有金属条4,所述第一方向和第二方向垂直,且所述方槽5贯穿产品通道槽9。
全文数据:
权利要求:
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