申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2017-03-28

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117926220A

主分类号：C23C16/448

分类号：C23C16/448;C23C16/44;C23C16/18;C23C16/455;F16K31/12;F16K31/60

优先权：["20160328 US 62/313,976"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：描述一种用于向处理腔室供应气体的设备和方法。设备包括入口管线和出口管线，它们各自有两个阀，与安瓿流体连通。旁通管线连接最靠近安瓿的入口阀和出口阀。设备和使用方法允许从处理腔室的输送管线中去除前驱物残余物。

主权项：1.一种设备，包括：安瓿盖，具有外表面和内表面；和阀组，连接到所述安瓿盖的所述外表面，所述阀组包括：入口管线，连接到所述安瓿盖以允许通过所述安瓿盖的流体连通；出口管线，连接到所述安瓿盖以允许通过所述安瓿盖的流体连通；第一入口阀，邻近所述外表面并且与所述入口管线流体连通并且连接到旁通管线，所述第一入口阀是三通阀，具有连接到所述入口管线的第一上游支腿、连接到所述入口管线的第一下游支腿和连接到所述旁通管线的第二下游支腿，所述第一入口阀配置为在第一入口位置、第二入口位置和第三入口位置中操作，所述第一入口位置允许流体流仅从所述第一上游支腿到所述第一下游支腿，所述第二入口位置允许流体流仅从所述第一上游支脚到所述第二下游支腿，并且所述第三入口位置允许流体流从所述第一上游支腿同时到所述第一下游支腿和所述第二下游支腿；第二入口阀，与所述入口管线流体连通且在所述第一入口阀的上游；第一出口阀，邻近所述外表面并且与所述出口管线流体连通并且连接到所述旁通管线，所述第一出口阀是三通阀，具有连接到所述出口管线的第二上游支腿、连接到所述旁通管线的第三上游支腿和连接到所述出口管线的第三下游支腿，所述第一出口阀配置为在第一出口位置、第二出口位置和第三出口位置中操作，所述第一出口位置允许流体流仅从所述第二上游支腿传递到所述第三下游支腿，所述第二出口位置允许流体流仅从所述第三上游支腿传递到所述第三下游支腿，并且所述第三出口位置允许流体流同时从所述第二上游支腿和所述第三上游支腿传递到所述第三下游支腿；第二出口阀，与所述出口管线流体连通且在所述第一出口阀的下游；和旁通阀，所述旁通阀与所述旁通管线流体连通，其中所述旁通阀是气动阀，并且其中所述旁通管线和所述旁通阀连接在所述第一入口阀与所述第一出口阀之间，其中所述入口管线穿过所述安瓿盖延伸距所述安瓿盖的所述内表面一定距离，并且其中所述设备进一步包括分布器，所述分布器在所述入口管线的在所述安瓿盖的所述内表面上的一端上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 去除气体管线内的沉积后残余的前驱物的设备和方法

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