申请/专利权人：朗姆研究公司

申请日：2022-08-21

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117940616A

主分类号：C25D17/00

分类号：C25D17/00;C25D21/12;C25D21/10;G06V10/82;G06V10/764;G06N3/09

优先权：["20210903 US 63/260,891"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：公开了涉及使用机器学习分类器诊断晶片处理工具的状况的示例。一示例提供了一种包含杯体的电沉积工具。杯体包含晶片界面。晶片界面包含唇形密封件以及多个电接触点。电沉积工具还包含相机，其定位成对晶片界面的至少一部分进行成像。电沉积工具还包含逻辑机以及存储机，其存储可由逻辑机执行的指令。可执行指令以经由相机获取晶片界面的图像。指令可进一步执行以从经过训练的机器学习函数获得晶片界面的图像的分类。指令可进一步执行以控制电沉积工具基于分类采取行动。

主权项：1.一种电沉积工具，其包含：杯体，其包含晶片界面，所述晶片界面包含唇形密封件以及多个电接触点；相机，其定位成对所述晶片界面的至少一部分进行成像；逻辑机；以及存储机，其存储所述逻辑机可执行的指令以：经由所述相机获取所述晶片界面的图像，从经过训练的机器学习函数中获得所述晶片界面的所述图像的分类，以及控制所述电沉积工具以基于所述分类采取行动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗姆研究公司 晶片处理工具的机器视觉检测

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