申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-10-23

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117926188A

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;H01L21/67;H01L27/12;H10K59/12;H10K71/16;H10K71/60;C23C14/04;H05B3/02;H05B3/06

优先权：["20221026 KR 10-2022-0139190"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.26#公开

摘要：一种沉积设备包括：腔室，提供内部空间；和沉积源，所述沉积源包括：容纳模块，容纳沉积材料；和加热器模块，将热量提供到所述沉积材料。所述沉积源容纳在所述内部空间中以提供所述沉积材料。所述加热器模块包括：第一加热器盖，包括面向所述容纳模块的表面，所述第一加热器盖包括绝缘材料并且提供有第一通孔；第二加热器盖，包括绝缘材料并且提供有第二通孔；加热器，设置在所述第一加热器盖和所述第二加热器盖之间；固定框架，与所述第二加热器盖耦接，固定所述第二加热器盖，并且提供有紧固孔；耦接构件，插入到所述第一通孔、所述第二通孔和所述紧固孔中；以及屏蔽盖，覆盖所述耦接构件的一端，并且包括绝缘材料。

主权项：1.一种沉积设备，其中，所述沉积设备包括：腔室，提供内部空间；和沉积源，容纳在所述内部空间中以提供沉积材料，所述沉积源包括：容纳模块，容纳所述沉积材料；和加热器模块，与所述容纳模块的外部部分相邻设置以将热量提供到所述沉积材料，所述加热器模块包括：第一加热器盖，所述第一加热器盖的第一表面面向所述容纳模块，所述第一加热器盖包括绝缘材料并且提供有穿过所述第一加热器盖限定的第一通孔；第二加热器盖，面向所述第一加热器盖的与所述第一加热器盖的所述第一表面背对的第二表面，所述第二加热器盖包括绝缘材料并且提供有穿过所述第二加热器盖限定的第二通孔；加热器，设置在所述第一加热器盖的所述第二表面和所述第二加热器盖的第一表面之间；固定框架，与所述第二加热器盖的与所述第二加热器盖的所述第一表面背对的第二表面耦接，固定所述第二加热器盖，并且提供有穿过所述固定框架限定的紧固孔；耦接构件，插入到所述第一通孔、所述第二通孔和所述紧固孔中；以及屏蔽盖，覆盖所述耦接构件的与所述容纳模块相邻的第一端，并且包括绝缘材料。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 沉积设备

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