申请/专利权人：西安电子科技大学

申请日：2024-01-26

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117929486A

主分类号：G01N27/12

分类号：G01N27/12;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/58;C25D3/50;C25D5/56;C25D5/48

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：基于多孔Pt衬底的Pd纳米薄膜氢气传感器及其制备方法，传感器包括依次设置的导电玻璃FTO、衬底层和气敏层，所述衬底层为多孔Pt衬底，所述气敏层为Pd纳米薄膜；方法为，在导电玻璃FTO上制备多孔Pt衬底；在得到的多孔Pt衬底上制备Pd纳米薄膜层，得到基于多孔Pt衬底的Pd纳米薄膜氢气传感器；本发明解决了现有技术中工作温度高，工艺复杂的缺点，具有制备简单，低响应浓度，室温检测的优点。

主权项：1.基于多孔Pt衬底的Pd纳米薄膜氢气传感器，其特征在于，包括依次设置的导电玻璃FTO、衬底层和气敏层，所述衬底层为多孔Pt衬底，所述气敏层为Pd纳米薄膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安电子科技大学 基于多孔Pt衬底的Pd纳米薄膜氢气传感器及其制备方法

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