申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2020-01-21

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN113169026B

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32

优先权：["20190122 US 62/795,545"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2022.01.28#实质审查的生效;2021.07.23#公开

摘要：本公开的实施例描述一种反馈回路，所述反馈回路可以用于维持几乎恒定的壳层电压，并且由此在基板的表面处产生单能IEDF。因此，本文描述的系统使得能够对IEDF的形状以及在基板表面中形成的特征的轮廓进行精确控制。

主权项：1.一种用于控制脉冲电压波形的反馈回路，所述反馈回路包括数据采集系统，所述数据采集系统包括：第一输入信道，所述第一输入信道包括第一调节电路，所述第一调节电路配置为从第一输入电压波形生成第一经调节的电压波形；以及快速数据采集模块，所述快速数据采集模块包括：第一采集信道，所述第一采集信道电耦接到所述第一输入信道的所述第一调节电路，并且所述第一采集信道配置为从所述第一经调节的电压波形生成第一数字化电压波形；以及数据采集控制器，所述数据采集控制器配置为通过分析所述第一数字化电压波形来确定所述第一经调节的电压波形的一个或多个波形特性，其中由脉冲电压波形发生器建立所述脉冲电压波形，所述脉冲电压波形发生器使用发生器耦接组件通过电导体电耦接至偏压电极，并且所述第一输入信道的输入端电耦接至所述发生器耦接组件的一端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 用于控制脉冲电压波形的反馈回路

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