申请/专利权人：雅马哈精密科技株式会社

申请日：2020-07-02

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN112198414B

主分类号：G01R31/28

分类号：G01R31/28;G01R1/04

优先权：["20190708 JP 2019-126813"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2021.01.26#实质审查的生效;2021.01.08#公开

摘要：本发明的课题在于提供能够容易地提高检查对象基板的电气检查的效率的电气检查装置。本发明的一方式的电气检查装置具备：电气检查头11，其具有能够从检查对象基板P的法线方向接触该检查对象基板P的多个探针11a；切换单元12，其具有能够切换向多个探针11a的连接的电路；以及轴承13，其将电气检查头11以及切换单元12支承为能够绕与检查对象基板P的法线平行的轴旋转，电气检查头11与切换单元12以能够装卸的方式在检查对象基板P的法线方向直接连结。

主权项：1.一种电气检查装置，其特征在于，具备：电气检查头，其具有能够从检查对象基板的法线方向接触该检查对象基板的多个探针；切换单元，其具有能够切换向所述多个探针的连接的电路；以及轴承，其将所述电气检查头以及所述切换单元支承为能够绕与所述法线平行的轴旋转；壳体，其具有主干部和在该主干部的所述检查对象基板侧的端部设置的底部；所述电气检查头与所述切换单元能够装卸，所述电气检查头与所述切换单元在所述法线方向上直接连结，并且在该状态下俯视时包含在所述轴承的内周缘内，所述底部具有供所述切换单元贯通的开口，所述轴承支承所述主干部的外周面的所述检查对象基板侧的端部，所述切换单元以沿所述法线方向贯通所述轴承的状态配置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 雅马哈精密科技株式会社 电气检查装置以及保持单元

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