申请/专利权人：深圳市永霖科技有限公司

申请日：2023-09-18

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220839574U

主分类号：B24B29/02

分类号：B24B29/02;B24B41/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型提供了一种抛光台及抛光装置，属于抛光设备技术领域。抛光台包括重叠设置的第一层板和第二层板；第一层板设置有第一通孔，第二层板设置有多个第二通孔，且第二层板靠近第一层板的表面或者第一层板靠近第二层板的表面设置有多个连通凹槽，连通凹槽与第二通孔一一对应设置，连通凹槽连通对应的第二通孔和第一通孔；第二层板远离第一层板的表面设置有与第二通孔一一对应的放置槽，第二通孔在放置槽的槽底形成第二开口，第一通孔在第一层板远离第二层板的表面形成第一开口，第一开口用于连接外部负压源。本实用新型中，将抛光台分为第一层板和第二层板，通过在层板上加工通孔和凹槽形成负压通道，降低负压通道和抛光台的加工难度。

主权项：1.一种抛光台，其特征在于，所述抛光台100包括重叠设置的第一层板140和第二层板150；所述第一层板140设置有第一通孔123，所述第二层板150设置有多个第二通孔124，且所述第二层板150靠近所述第一层板140的表面或者所述第一层板140靠近所述第二层板150的表面设置有多个连通凹槽125，所述连通凹槽125与所述第二通孔124一一对应设置，所述连通凹槽125连通对应的所述第二通孔124和所述第一通孔123；所述第二层板150远离所述第一层板140的表面设置有与所述第二通孔124一一对应的放置槽110，所述第二通孔124在所述放置槽110的槽底形成第二开口122，所述第一通孔123在所述第一层板140远离所述第二层板150的表面形成第一开口121，所述第一开口121用于连接外部负压源。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市永霖科技有限公司 一种抛光台及抛光装置

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