申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司

申请日：2023-10-07

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220856496U

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;H01L21/67;G03F7/16

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型提供了一种光阻输运系统，包括光阻输运管路、排出管路、回流管路，以及依次设置在光阻输运管路中的光阻瓶、暂存器、过滤器、供应泵、传感器和回吸阀门；传感器和回吸阀门之间设有第一阀门，过滤器或供应泵的入口端设有第二阀门；当传感器检测到光阻中存在气泡，控制器被配置开启第一阀门和第二阀门，使得光阻经过回流管路回流至光阻输运管路中过滤器或供应泵的入口端；光阻输运管路中的过滤器用于对气泡和颗粒杂质进行过滤；光阻输运管路中的供应泵用于驱动光阻在光阻输运管路中输运并可再次过滤气泡和颗粒杂质，过滤器和供应泵过滤出的气泡和颗粒杂质通过排出管路排出。该系统用以精准检测出光阻气泡的同时完成排泡，提高晶圆的良率。

主权项：1.一种光阻输运系统，其特征在于，包括光阻输运管路、排出管路、回流管路，以及依次设置在光阻输运管路中的光阻瓶、暂存器、过滤器、供应泵、传感器和回吸阀门；所述传感器和回吸阀门之间设有第一阀门，所述过滤器或供应泵的入口端设有第二阀门；当传感器检测到所述光阻输运管路中存在气泡，控制器被配置开启所述第一阀门和第二阀门，使得光阻经过回流管路回流至所述光阻输运管路中过滤器或供应泵的入口端；所述光阻输运管路中的过滤器，用于对气泡和颗粒杂质进行过滤；所述光阻输运管路中的供应泵用于驱动光阻在光阻输运管路中输运并可再次过滤气泡和颗粒杂质，所述过滤器和供应泵过滤出的气泡和颗粒杂质通过所述排出管路排出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 一种光阻输运系统

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