申请/专利权人：苏州极刻光核科技有限公司

申请日：2022-10-19

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117950110A

主分类号：G02B6/12

分类号：G02B6/12;G02B6/14

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.30#公开

摘要：提供一种模斑转换结构和光子器件。模斑转换结构包括：具有用于与集成光波导耦合的第一端面，以及用于与光纤耦合、并且与第一端面相平行的第二端面，模斑转换结构包括：衬底；隔离层，位于衬底的一侧，隔离层包括沿纵向方向延伸至第二端面的第一刻蚀部、第二刻蚀部和第一传输部，其中，第一传输部位于第一刻蚀部和第二刻蚀部之间，纵向方向与第二端面正交；波导层，位于隔离层的远离衬底的一侧，波导层的宽度沿靠近第二端面的方向呈现梯度减小，其中，宽度方向与纵向方向正交并且与衬底的底面平行；以及覆盖层，位于波导层的远离衬底的一侧并且覆盖波导层，覆盖层包括沿纵向方向延伸至第二端面、并且呈脊状凸起于第一传输部表面的第二传输部。

主权项：1.一种模斑转换结构，具有用于与集成光波导耦合的第一端面，以及用于与光纤耦合、并且与所述第一端面相平行的第二端面，所述模斑转换结构包括：衬底；隔离层，位于所述衬底的一侧，所述隔离层包括沿纵向方向延伸至所述第二端面的第一刻蚀部、第二刻蚀部和第一传输部，其中，所述第一传输部位于所述第一刻蚀部和所述第二刻蚀部之间，所述纵向方向与所述第二端面正交；波导层，位于所述隔离层的远离所述衬底的一侧，所述波导层的宽度沿靠近所述第二端面的方向呈现梯度减小，其中，所述宽度方向与所述纵向方向正交并且与所述衬底的底面平行；以及覆盖层，位于所述波导层的远离所述衬底的一侧并且覆盖所述波导层，所述覆盖层包括沿所述纵向方向延伸至所述第二端面、并且呈脊状凸起于所述第一传输部表面的所述第二传输部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州极刻光核科技有限公司 模斑转换结构和光子器件

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