申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2023-02-21

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117954346A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;G03F7/40

优先权：["20221027 KR 10-2022-0139812"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.30#公开

摘要：本公开的基板处理设备包括：腔室构件，具有容纳空间和开口，该容纳空间构造成容纳容器部，在该容器部中形成有构成超临界处理空间的基板处理区域，开口构造成用于将基板移入和移出；闸板，构造成打开或关闭腔室构件；以及第一排出部，构造成从容纳空间将内部空气排出到外部，其中，在使基板处理区域的温度升高的基板处理工艺期间，闸板关闭开口。

主权项：1.一种基板处理设备，包括：腔室构件，包括容纳空间和开口，所述开口构造成用于将基板移入和移出所述容纳空间，其中，在所述容纳空间中安装有容器部，所述容器部具有形成为使用超临界流体处理所述基板的基板处理区域；闸板，构造成打开或关闭所述腔室构件的所述开口；以及第一排出部，构造成从所述容纳空间将内部空气排出到外部，其中，在所述容器部中使用所述超临界流体处理所述基板期间，所述闸板关闭所述开口。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 基板处理设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD