申请/专利权人:ASMIP私人控股有限公司
申请日:2023-10-25
公开(公告)日:2024-04-30
公开(公告)号:CN117954301A
主分类号:H01J37/32
分类号:H01J37/32
优先权:["20221028 US 63/381,390"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.04.30#公开
摘要:公开了气体注射器组件和包括该气体注射器组件的衬底处理设备。目前描述的气体注射器组件的实施例包括气体注射器、第一前体气体供应导管和第二前体气体供应导管。第一前体气体供应导管的尺寸大于第二前体气体供应导管的尺寸。
主权项:1.一种用于向半导体处理设备的处理室提供处理气体的气体注射器组件,该气体注射器组件包括:-气体注射器,包括:-用于将处理气体注射到半导体处理设备的处理室的注射器管,该注射器管沿着第一轴线在纵向方向上从第一端延伸到第二端,-进料端,包括第一前体气体入口和第二前体气体入口,用于向注射器管提供第一和第二前体气体以形成处理气体,-将第一前体气体入口连接到第一前体气体进口的第一前体气体供应导管;以及-将第二前体气体入口连接到第二前体气体进口的第二前体气体供应导管,其中,从第一前体气体进口延伸到第一前体气体入口的第一前体气体供应导管的尺寸大于从第二前体气体进口延伸到第二前体气体入口的第二前体气体供应导管的尺寸。
全文数据:
权利要求:
百度查询: ASMIP私人控股有限公司 气体注射器组件
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