申请/专利权人：武汉衍熙微器件有限公司

申请日：2022-09-23

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117957772A

主分类号：H03H9/17

分类号：H03H9/17;H03H9/02

优先权：["20211015 US 63/262,586"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本公开实施例提供一种体声波谐振结构及其制备方法、声波器件。体声波谐振结构包括：衬底；依次位于衬底上的反射结构、第一电极、压电层和第二电极；其中，第一电极在所述衬底的正投影、压电层在衬底的正投影与第二电极在衬底的正投影的重叠区域为第一重叠区；第一电极，包括第一部分、第二部分以及第三部分，第二部分连接第一部分和第三部分；其中，第一部分在衬底的正投影落入第一重叠区内，且第一部分沿平行于衬底表面方向延伸；第二部分和第三部分在衬底的正投影落入第一重叠区以外区域，且第二部分相对于衬底表面具有倾斜角度，第三部分沿平行于衬底表面方向延伸；第一部分在垂直于衬底表面方向上高于第三部分。

主权项：一种体声波谐振结构，包括：衬底；依次位于所述衬底上的反射结构、第一电极、压电层和第二电极；其中，所述第一电极在所述衬底的正投影、所述压电层在所述衬底的正投影与所述第二电极在所述衬底的正投影的重叠区域为第一重叠区；所述第一电极，包括第一部分、第二部分以及第三部分，所述第二部分连接所述第一部分和所述第三部分；其中，所述第一部分在所述衬底的正投影落入所述第一重叠区内，且所述第一部分沿平行于所述衬底表面方向延伸；所述第二部分和所述第三部分在所述衬底的正投影落入所述第一重叠区以外区域，且所述第二部分相对于所述衬底表面具有倾斜角度，所述第三部分沿平行于所述衬底表面方向延伸；所述第一部分在垂直于所述衬底表面方向上高于所述第三部分。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 武汉衍熙微器件有限公司 体声波谐振结构及其制备方法、声波器件

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD