申请/专利权人：国家能源投资集团有限责任公司;北京低碳清洁能源研究院

申请日：2022-10-18

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117954510A

主分类号：H01L31/0224

分类号：H01L31/0224;H01L31/0392;H01L31/18

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本公开涉及一种用于柔性金属衬底太阳电池的背电极，在沿远离金属衬底的方向上，所述背电极包括在第一主表面上层叠设置的第一金属氧化物层、阻挡层和第一功能层；所述第一金属氧化物层的材料选自MoOx，其中0.001≤x≤0.25，所述第一金属氧化物层的薄膜应力在‑900MPa至‑300MPa之间；所述阻挡层含有金属Cr；所述第一功能层含有金属Mo。本公开的方法制备得到的背电极不仅能够提高背电极对Fe、Cr等有害元素的阻挡效果，还能够平衡多层膜带来的背电极应力性卷曲，提高电池效率的同时满足卷对卷连续生产的需求。

主权项：1.一种用于柔性金属衬底太阳电池的背电极，其特征在于，在沿远离金属衬底的方向上，所述背电极包括在第一主表面上层叠设置的第一金属氧化物层、阻挡层和第一功能层；所述第一金属氧化物层的材料选自MoOx，其中0.001≤x≤0.25，所述第一金属氧化物层的薄膜应力在-900MPa至-300MPa之间；所述阻挡层含有金属Cr、硅的氧化物、硅的氮氧化物、铝的氧化物、钛的氮化物、钛的氧化物或锆的氧化物；所述第一功能层含有金属Mo。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 国家能源投资集团有限责任公司;北京低碳清洁能源研究院 一种用于柔性金属衬底太阳电池的背电极及其制备方法

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