申请/专利权人：中国计量大学

申请日：2024-02-01

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117948896A

主分类号：G01B11/02

分类号：G01B11/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：一种基于散斑的压电纳米步进器位移测量装置，包括支撑框架、XYZ位移平台、光源、毛玻璃、反射镜、投影屏、光学显微镜、视频像机和图像处理单元，所述的支撑框架为口字型或U型或L型的框架结构，支撑并固定其他部件，待测压电步进器固定在XYZ位移平台上，所述的毛玻璃固定在待测压电步进器上，并且随着待测压电步进器一起运动。光源发出的光照射到毛玻璃后投影到投影屏上形成放大的散斑图像，所述的散斑图像携带压电马达的步进信息并且经过光学显微镜放大、视频相像采集后传输到图像处理单元。该发明不仅可实现压电纳米步进器步进位移的纳米级分辨，并且它易于操作，环境兼容性好。

主权项：1.一种基于散斑的压电纳米步进器位移测量装置，其特征在于，包括支撑框架、XYZ位移平台、光源、毛玻璃、待测压电步进器、反射镜、投影屏、光学显微镜、视频相机和图像处理单元，所述的支撑框架为口字型或U型或L型的框架结构，支撑并固定其他部件，所述的XYZ位移平台和投影屏固定在支撑框架底部，所述的反射镜和光学显微镜固定在支撑框架顶部，所述的待测压电步进器固定在XYZ位移平台上，所述的毛玻璃固定在待测压电步进器上，并且随着待测压电步进器一起运动，所述光源发出的光照射到毛玻璃后形成散斑光束，并且经反射镜反射后投影到投影屏上，形成放大的散斑图像，所述的光学显微镜聚焦到投影屏上并且对投影屏上的散斑图像清晰成像，所述的视频相机将光学显微镜的图像转为数字图像并传输到图像处理单元。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国计量大学 一种基于散斑的压电纳米步进器位移测量装置

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