申请/专利权人：复旦大学

申请日：2022-10-20

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117947383A

主分类号：C23C14/12

分类号：C23C14/12;C23C14/24;C23C14/34

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本公开涉及用于在样品上沉积聚对二甲苯膜的沉积系统。沉积系统包括沉积室和第一真空泵子系统。沉积室包括：第一法兰接口、第二法兰接口、第三法兰接口，第一法兰接口被配置作为向沉积室传送样品和从沉积室传送样品的出入口；样品托，设置在沉积室中并被配置为放置样品；筒状冷阱，在沉积室中围绕样品托设置，并在面向第一法兰接口的一侧设置有开口以允许样品穿过开口进出样品托；聚对二甲苯裂解源，安装在沉积室的面向样品托的第二法兰接口上，并被配置为向放置在样品托内的样品沉积聚对二甲苯膜。第一真空泵子系统连接至沉积室的第三法兰接口并被配置为提供沉积室的真空状态。

主权项：1.一种用于在样品上沉积聚对二甲苯膜的沉积系统，包括：沉积室，包括：第一法兰接口、第二法兰接口、第三法兰接口，所述第一法兰接口被配置作为向所述沉积室传送样品和从所述沉积室传送样品的出入口，样品托，设置在所述沉积室中并被配置为放置样品，筒状冷阱，在所述沉积室中围绕所述样品托设置，并在面向所述第一法兰接口的一侧设置有开口以允许所述样品穿过所述开口进出所述样品托，聚对二甲苯裂解源，安装在所述沉积室的面向所述样品托的所述第二法兰接口上，并被配置为向放置在所述样品托内的所述样品沉积聚对二甲苯膜；以及第一真空泵子系统，连接至所述沉积室的所述第三法兰接口并被配置为提供所述沉积室的真空状态。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 复旦大学 用于在样品上沉积聚对二甲苯膜的沉积系统

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