申请/专利权人：IMEC非营利协会

申请日：2023-09-22

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117943268A

主分类号：B06B1/06

分类号：B06B1/06;A61B8/00

优先权：["20221028 EP 22204493.5"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.30#公开

摘要：根据本发明构思的一方面，提供了一种用于生产超声系统的超声换能器的方法，其中该方法包括：1形成第一层结构，包括：a在第一基板上形成前板柔性层；b形成超声换能器元件的阵列；以及2提供第二层结构，所述第二层结构至少包括背板层；其中1和或2包括：1c在超声换能器元件的阵列上形成第一腔限定层和或2a在背板层上形成第二腔限定层；以及在第一和或第二腔限定层中限定腔的阵列；3通过将第一层结构粘性结合到第二层结构来进行贴附，其中超声换能器元件的阵列在前板柔性层和背板层之间；以及4去除第一基板。

主权项：1.一种用于生产超声系统的超声换能器200的方法100，其中所述方法包括：1形成101第一层结构1，所述形成101包括：a在第一基板2上形成102前板柔性层3，其中在所述前板柔性层3和所述第一基板2之间形成临时接合；b在所述前板柔性层3上形成103超声换能器元件4的阵列；以及2提供104包括至少背板层6的第二层结构5；其中1形成102所述第一层结构1还包括和或2提供104所述第二层结构5包括：1c在所述超声换能器元件4的阵列上形成105第一腔限定层7a和或2a在所述背板层6上形成106第二腔限定层7b；以及在所述第一腔限定层7a和或所述第二腔限定层7b中限定腔8的阵列；3通过将所述第一层结构1粘性地结合到所述第二层结构5来进行贴附107，其中所述超声换能器元件4的阵列在所述前板柔性层3和所述背板层6之间；以及4去除108所述第一基板2。

全文数据：

权利要求：

百度查询： IMEC非营利协会 超声换能器和用于生产超声换能器的方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD