申请/专利权人：浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司

申请日：2024-02-02

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117944193A

主分类号：B28D5/04

分类号：B28D5/04;B28D5/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本公开涉及一种蓝宝石晶棒切割方法，本蓝宝石晶棒切割方法包括以下步骤：将切割线沿第一切割深度方向切割蓝宝石晶棒，在所述第一切割深度，所述蓝宝石晶棒在第一摇摆角度来回摇摆，其中，所述第一摇摆角度大于或等于4°；在所述切割线结束沿所述第一切割深度方向的行程后，将所述切割线沿第二切割深度方向切割所述蓝宝石晶棒，所述第二切割深度方向与所述第一切割深度方向相同。本蓝宝石晶棒切割方法可以有效减少因切割线往复运动产生的偏差，从而可以减少切割的蓝宝石晶棒的进刀口的厚度不均和边缘毛边等现象，可增加线切割后蓝宝石晶片的良率。

主权项：1.一种蓝宝石晶棒切割方法，其特征在于，包括以下步骤：将切割线沿第一切割深度方向切割蓝宝石晶棒，在所述第一切割深度，所述蓝宝石晶棒在第一摇摆角度来回摇摆，其中，所述第一摇摆角度大于或等于4°；在所述切割线结束沿所述第一切割深度方向的行程后，将所述切割线沿第二切割深度方向切割所述蓝宝石晶棒，所述第二切割深度方向与所述第一切割深度方向相同。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司 蓝宝石晶棒切割方法

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