申请/专利权人：保定途普拉斯半导体科技有限公司

申请日：2024-03-11

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117942690A

主分类号：B01D50/00

分类号：B01D50/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本发明公开了一种半导体工艺流程中尾气颗粒物净化装置及净化方法。本装置包括冷却模块、等离子体发生模块、导流模块、集尘模块和Y型管道；Y型管道具有一个输入口、一直通出口和一侧方出口管；等离子体发生模块、导流模块设置于Y型管道内；其中，所述冷却模块用于对排出的废气进行冷却，使废气中的化学成分在降温后加速凝结生长为颗粒；所述等离子体发生模块用于在所述侧方出口管的入口上方形成一等离子体区域，对流经粒子进行充电形成带电颗粒；所述导流模块用于将带电颗粒排斥导入到所述侧方出口管；所述集尘模块与所述Y型管道的侧方出口管的出口连接，用于收集流入的颗粒物。该装置具有操作方便、全天候、高效率以及低成本的优势。

主权项：1.一种半导体工艺流程中尾气颗粒物净化装置，其特征在于，包括冷却模块、等离子体发生模块、导流模块、集尘模块和Y型管道；所述Y型管道具有一个输入口、一直通出口和一侧方出口管；所述等离子体发生模块、导流模块设置于所述Y型管道内；其中，所述冷却模块一端与半导体制造工艺中的真空室排气口连接、另一端与所述Y型管道的输入口连接，用于对所述真空室排出的废气进行冷却，使废气中的化学成分在降温后加速凝结生长为颗粒后进入所述Y型管道内；所述等离子体发生模块，用于在所述Y型管道的侧方出口管的入口上方形成一等离子体区域，对流经所述等离子体区域的粒子进行充电形成带电颗粒；所述导流模块，用于利用自身产生的电场将所述带电颗粒排斥导入到所述侧方出口管；所述集尘模块与所述Y型管道的侧方出口管的出口连接，用于收集流入的颗粒物；所述Y型管道的直通出口通过排气管与真空泵连接，用于将滤除颗粒物的残气经所述真空泵排出。

全文数据：

权利要求：

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