申请/专利权人：苏州达波新材科技有限公司

申请日：2021-12-29

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN114301412B

主分类号：H03H9/02

分类号：H03H9/02;H03H3/02;H03H9/13

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权;2022.04.26#实质审查的生效;2022.04.08#公开

摘要：本发明公开了一种具有改良衬底结构的兰姆波声波器件及其制作方法。所述兰姆波声波器件包括衬底1、压电单晶薄膜4和电极5，所述衬底1上形成有排气槽2和空腔3，所述压电单晶薄膜4至少覆盖所述空腔3，所述排气槽2与设置在所述兰姆波声波器件表面的开口连通。本发明提供的兰姆波声波器件具有高频、大机电耦合系数、高品质因子等特点，且制备工艺可靠，其中通过在衬底上增设排气槽，能够使键合及退火过程中产生的气体及时排出，改善键合质量，提高产品良率。

主权项：1.一种具有改良衬底结构的兰姆波声波器件，包括衬底（1）、压电单晶薄膜（4）和电极（5），其特征在于：所述衬底（1）上形成有排气槽（2）和空腔（3），所述空腔（3）包括形成在衬底顶端面上的第一槽状结构，所述排气槽（2）包括形成在衬底顶端面上的第二槽状结构，所述第一槽状结构、第二槽状结构分别与连续覆盖衬底顶端面的压电单晶薄膜（4）配合形成所述空腔（3）、排气槽（2），所述排气槽（2）与空腔（3）及设置在所述兰姆波声波器件表面的开口连通。

全文数据：

权利要求：

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