申请/专利权人：兰州空间技术物理研究所

申请日：2021-12-24

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN114509490B

主分类号：G01N27/62

分类号：G01N27/62

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权;2022.06.03#实质审查的生效;2022.05.17#公开

摘要：本发明公开了一种基于谱图迭代解析的超高极高真空系统质谱测量方法。本发明对质谱直接测量结果进行二次数据分析处理，利用谱图的迭代解析对质谱原始测量数据进行整合处理，提取淹没在噪声中的有用微小信号，实现质谱图精准定性、定量分析，可大幅提升质谱分析仪器的动态范围特性，实现混合气体极小真空分压力痕量气体组分的定性、定量精确分析测量。

主权项：1.一种基于谱图迭代解析的超高极高真空系统质谱测量方法，其特征在于，包括：步骤1，设置真空检测室，将待检测混合气体中的第1种气体通入检测室中，并以设定的步长逐步增加该气体的分压力，并计算各分压力下的积分误差所述积分误差为： 其中，为归一化后的基于质谱计测量获得的离子流的和；为归一化后的基于模拟扫描谱得到的离子流的和；对覆盖10-16A～10-6A10个数量级离子流进行归一化处理；采用如下方式对离子流值In进行归一化处理： 基于质谱计测量获得的离子流的和In-measure为： 基于模拟扫描谱得到的离子流的和In-analog为： 其中，z为质谱计检测到的离子流总个数；离子流Ik由质谱计测量获得，k＝1,2,…,z；为高斯谱峰，c为高斯函数中的常数，mk为离子流Ik所对应的气体质量数整数值；m为mk按设定的高斯积分步长增加后的原子质量数；Ioff为测量偏移值；Inoise为随机噪声；步骤2，选择积分误差最小时对应的第1种气体的分压力并保持不变；将待检测混合气体中的第2种气体通入检测室中，并以设定的步长逐步增加第2种气体的分压力；按公式9计算各分压力下的积分误差步骤3，选择积分误差最小时对应的第2种气体的分压力并保持不变；将待检测混合气体中的第3种气体通入检测室中，按照相同的方法确定第3种气体的分压力并保持不变；步骤4，以此类推，将待检测混合气体中的N种气体依次通入检测室并确定其气体分压力，完成检测。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 兰州空间技术物理研究所 基于谱图迭代解析的超高/极高真空系统质谱测量方法

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