申请/专利权人：斯达半导体股份有限公司

申请日：2023-08-29

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN220873534U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权

摘要：本实用新型公开了一种自动灌胶烘烤的生产装置，属于功率模块灌胶技术领域；包括：固化夹具传输线；灌胶载具转折传输线，与固化夹具传输线平行设置，灌胶载具转折传输线包括至少一个灌胶载具定位机构、一个转折输送机构；机械手翻转组件，设于固化夹具传输线与灌胶载具转折传输线之间；自动真空灌胶机，连接转折输送机构；垂直隧道炉，连接自动真空灌胶机；冷却缓存机，连接垂直隧道炉；灌胶载具回流传送组件，连接冷却缓存机和灌胶载具转折传输线。上述技术方案的有益效果是：由于采用以上技术方案，避免了人工运输造成的不良情况，减少了转运人力，提高了生产良率。

主权项：1.一种自动灌胶烘烤的生产装置，其特征在于，包括：固化夹具传输线11；灌胶载具转折传输线12，与所述固化夹具传输线11平行设置，所述灌胶载具转折传输线12包括至少一个灌胶载具定位机构121、一个转折输送机构122；机械手翻转组件14，设于所述固化夹具传输线11与所述灌胶载具转折传输线12之间；自动真空灌胶机15，连接所述转折输送机构122；垂直隧道炉16，连接所述自动真空灌胶机15；冷却缓存机17，连接所述垂直隧道炉16；灌胶载具回流传送组件13，连接所述冷却缓存机17和所述灌胶载具转折传输线12。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 斯达半导体股份有限公司 一种自动灌胶烘烤的生产装置

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