申请/专利权人：江苏亚电科技股份有限公司

申请日：2023-10-11

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN220861208U

主分类号：B01F27/90

分类号：B01F27/90;B01F35/75;B01F35/71

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权

摘要：本实用新型属于晶圆清洗领域，公开了一种药液添加罐，包括用于进气出液的上盖装置，还包括用于存储药液的箱筒装置，所述上盖装置安装在所述箱筒装置顶端，所述上盖装置中间安装有用于缓慢搅动药液的搅动装置；所述箱筒装置包括箱筒体，所述箱筒体一侧设置有进水管，所述箱筒体底部中间设置有收集桶，所述收集桶底部安装有排废阀，所述箱筒体底部圆周均匀分布有若干支撑腿；所述搅动装置包括伺服电机。本实用新型所述的一种药液添加罐，通过涡旋和搅拌汇聚沉淀的设置，进一步保证了药液的清洁；通过恒压排水的设置，保证了药液添加输送的稳定性；通过大小出水管的设置，便于应对不同药液用量的需求。

主权项：1.一种药液添加罐，包括用于进气出液的上盖装置1，其特征在于：还包括用于存储药液的箱筒装置2，所述上盖装置1安装在所述箱筒装置2顶端，所述上盖装置1中间安装有用于缓慢搅动药液的搅动装置3；所述箱筒装置2包括箱筒体201，所述箱筒体201一侧设置有进水管202，所述箱筒体201底部中间设置有收集桶203，所述收集桶203底部安装有排废阀204，所述箱筒体201底部圆周均匀分布有若干支撑腿205；所述搅动装置3包括伺服电机301，所述伺服电机301输出端安装有传动轴302，所述传动轴302底部均匀分布有若干搅拌叶303。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏亚电科技股份有限公司 一种药液添加罐

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