申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2022-09-21

公开（公告）日：2024-05-03

公开（公告）号：CN117980840A

主分类号：G05B19/418

分类号：G05B19/418;G05B23/02;G06N20/00;H01L21/67

优先权：["20210923 US 17/483,264"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.21#实质审查的生效;2024.05.03#公开

摘要：一种方法包括：识别以下项目中的至少一者：与由基板处理设施中的基板处理工具所处理的历史基板批相关联的历史数据，或由模拟基板处理工具所处理的模拟基板批的模拟数据。该方法进一步包括根据历史基板批的历史数据或模拟基板批的模拟数据中的至少一者产生特征。该方法进一步包括：用包括所述特征的数据输入训练机器学习模型，以产生经训练的机器学习模型。经训练的机器学习模型能够产生一个或多个输出，所述一个或多个输出表明要在基板处理设施中执行的一个或多个改正动作。

主权项：1.一种操作基板处理设施的方法，所述方法包括：识别以下项目中的至少一者：与由所述基板处理设施中的基板处理工具所处理的历史基板批相关联的历史数据；或由模拟基板处理工具所处理的模拟基板批的模拟数据；根据所述历史基板批的所述历史数据或所述模拟基板批的所述模拟数据中的所述至少一者产生特征；以及用包括所述特征的数据输入训练机器学习模型，以产生经训练的机器学习模型，所述经训练的机器学习模型能够产生一个或多个输出，所述一个或多个输出表明要在所述基板处理设施中执行的一个或多个改正动作。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 用于基板处理的机器学习平台

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD