申请/专利权人:TDK株式会社
申请日:2022-06-17
公开(公告)日:2024-05-03
公开(公告)号:CN117980711A
主分类号:G01L9/04
分类号:G01L9/04;G01K7/22;G01L1/22
优先权:["20210929 JP 2021-159782"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.21#实质审查的生效;2024.05.03#公开
摘要:一种温度敏感应变敏感复合传感器,其中,具有:应变敏感电阻膜,其以通式Cr100‑x‑yAlxNy表示,x、y各自的组成区域为5<x≤50、0.1≤y≤20;和温度敏感电阻膜,其在‑50℃以上450℃以下的温度范围内的电阻温度系数TCR的绝对值为2000ppm℃以上。
主权项:1.一种温度敏感应变敏感复合传感器,其中,具有:应变敏感电阻膜,其以通式Cr100-x-yAlxNy表示,x、y各自的组成区域为5<x≤50、0.1≤y≤20;和温度敏感电阻膜,其在-50℃以上450℃以下的温度范围内的电阻温度系数TCR的绝对值为2000ppm℃以上。
全文数据:
权利要求:
百度查询: TDK株式会社 温度敏感应变敏感复合传感器
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