申请/专利权人：广东金湾高景太阳能科技有限公司;四川高景太阳能科技有限公司

申请日：2023-05-24

公开（公告）日：2024-05-03

公开（公告）号：CN116721951B

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;H01L21/67;H01L21/683

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.03#授权;2023.09.26#实质审查的生效;2023.09.08#公开

摘要：本发明涉及硅片生产设备技术领域，尤其涉及一种空气悬浮式接料装置及硅片接料系统，本发明在底座上设置第一悬浮弧面，在安装台上对应设置有第二悬浮弧面，第一悬浮弧面上开设有悬浮气孔，悬浮气孔吹气以将安装台悬浮在底座上，这样的设计使得安装台摆动时受到的阻力极小，接料盒则设置在安装台的上端，接料盒上设置有挡料板，硅片做抛物线轨迹运动并接触挡料板时，接料盒安装台可相对底座摆动从而吸收了硅片的绝大部分动能，使得硅片与挡料板碰撞时，硅片自身仅吸收少量动能转换为内能，因此可以大幅降低硅片崩边、硅落、隐裂等品质异常问题的发生率。

主权项：1.一种空气悬浮式接料装置，其特征在于，包括：底座100，其上端具有第一悬浮弧面101，所述第一悬浮弧面101上开设有至少一个悬浮气孔102，所述悬浮气孔102与外置的进气管连通；安装台200，其底部具有第二悬浮弧面201，所述第二悬浮弧面201与所述第一悬浮弧面101相匹配，气体自所述悬浮气孔102吹向所述第二悬浮弧面201，以使所述安装台200悬浮于所述底座100上；接料盒300，设置在所述安装台200上，其上具有挡料板301；硅片做抛物线轨迹运动接触所述挡料板301，并可推动所述安装台200随所述接料盒300相对所述底座100摆动；所述底座100上相对的两侧均形成有朝上突起的限位部104，所述安装台200位于在两个所述限位部104之间，所述限位部104上设置有导向气孔103，所述导向气孔103与外置的进气管连通；两个所述导向气孔103同轴设置并且其轴心线水平设置；所述底座100上设置有进气通道105，所述悬浮气孔102和所述导向气孔103均通过所述进气通道105与外置的进气管连通。

全文数据：

权利要求：

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