申请/专利权人：江苏英思特半导体科技有限公司

申请日：2024-04-08

公开（公告）日：2024-05-10

公开（公告）号：CN118002546A

主分类号：B08B3/10

分类号：B08B3/10;B08B13/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.28#实质审查的生效;2024.05.10#公开

摘要：本发明公开了一种硅片用自动清洗装置，属于硅片清洗技术领域。该硅片用自动清洗装置，通过电机驱动转轴旋转，转轴通过皮带传动结构带动丝杆驱动螺纹座运动，使螺纹座带动齿段运动，齿段移动过程逐渐与两侧的齿轮进行啮合传动，使齿轮带动销轴盒限位框转动，使每个限位框依次进行翻转运动，使限位框翻向另一侧可保持与原排列的限位框相反设置，则可增加两个限位框之间的间距，增加对硅片的清洗面积，避免间距较小导致无法清洗，而且方便了硅片的清洗作业，提高清洗效果，其次在限位框翻转过程，上方的弹性气囊可将气囊头内部气体回收，而下方的弹性气囊通过受到限位框挤压将气体压入气囊头，使硅片的固定点可切换，实现对硅片的全面清洁作业。

主权项：1.一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：包括，清洗机构（100），包括清洗设备（101）及设在清洗设备（101）中的多个清洗槽（102），所述清洗槽（102）的内部设有两个网框（103），所述网框（103）的内部装配有转动组件（104），所述转动组件（104）的两侧均固定连接有两个用于对硅片固定的固定组件（105），两个网框（103）的上方固定连接有同一支架（106）；以及辅助清洁机构（200），包括两个支撑板（207）及装配在两个支撑板（207）上的螺纹驱动组件（203），所述螺纹驱动组件（203）位于网框（103）的下方，两个支撑板（207）固定连接在弹性组件（201）的上方，所述网框（103）卡合在弹性组件（201）上，所述弹性组件（201）的两侧均固定连接有限位组件（202），所述限位组件（202）固定连接在清洗槽（102）的底壁上，所述弹性组件（201）固定连接在清洗槽（102）的底壁上，所述弹性组件（201）的两侧上方均固定连接有滑轮（205），所述滑轮（205）的上方配合有抖动组件（204），所述抖动组件（204）固定连接在支撑板（207）上，两个抖动组件（204）与螺纹驱动组件（203）传动连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏英思特半导体科技有限公司 一种硅片用自动清洗装置

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