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申请/专利权人：上海科技大学
申请日：2022-11-09
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118050394A
主分类号：G01N23/2273
分类号：G01N23/2273
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本发明提供一种纳米角分辨光电子能谱实验装置及实验方法，包括驱动组件、回转支撑轴承、支架架体、样品操纵台、主分析腔、以及能量分析器，所述驱动组件与回转支撑轴承传动连接，所述支架架体与回转支撑轴承固定连接，所述能量分析器、主分析腔均设置在支架架体上、且能量分析器与主分析腔连通；所述样品操纵台设置在回转支撑轴承中心的地面上，所述样品操纵台的外周还设置有差分真空转盘，所述主分析腔的底端与差分真空转盘的顶端固定连接、且样品操纵台处于主分析腔内；所述主分析腔内处于真空环境。本发明解决了现有技术中轻微改变样品操纵台的位置就将导致样品研究区域在转动中丢失的问题，操作简单、方便高效。
主权项：1.一种纳米角分辨光电子能谱实验装置，其特征在于：包括驱动组件13、回转支撑轴承10、支架架体8、样品操纵台17、主分析腔1、以及能量分析器2，所述驱动组件13与回转支撑轴承10传动连接，所述支架架体8与回转支撑轴承10固定连接，所述能量分析器2、主分析腔1均设置在支架架体8上、且能量分析器2与主分析腔1连通；所述样品操纵台17设置在回转支撑轴承10中心的地面11上，所述样品操纵台17的外周还设置有差分真空转盘1602，所述主分析腔1的底端与差分真空转盘1602的顶端固定连接、且样品操纵台17处于主分析腔1内；所述主分析腔1内处于真空环境；所述样品操纵台17用于放置样品、且调整样品与光路配合；所述能量分析器2对样品激发的光电子分析。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海科技大学 纳米角分辨光电子能谱实验装置及实验方法
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