申请/专利权人:苏州天准科技股份有限公司
申请日:2024-02-23
公开(公告)日:2024-05-17
公开(公告)号:CN118049951A
主分类号:G01B21/08
分类号:G01B21/08
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要:本发明提供了一种厚度检测设备,属于厚度量测领域,包括厚度检测装置和物料移载台,所述厚度检测装置设置在物料移载台上方并对下方载台上的物料进行厚度检测;厚度检测装置包括气浮压板组件、配重组件、升降驱动组件、位移传感器、上横板组和测厚架;本申请的厚度检测设备更稳定,采用位移式传感器,避免了复杂光环境下的失真问题,且下方载台可移动,便于批量物料的厚度检测而无需人工上下料,便于在3C、半导体等涉及大批量零部件厚度检测的领域推广应用。
主权项:1.一种厚度检测设备,其特征在于:厚度检测设备包括厚度检测装置100和物料移载台200,所述厚度检测装置100设置在物料移载台200上方并对下方载台上的物料进行厚度检测;其中,厚度检测装置100包括气浮压板组件、配重组件、升降驱动组件、位移传感器、上横板组和测厚架;其中,所述气浮压板组件和配重组件通过滑轮模组连接,配重组件的配重根据待测产品的型号可调;所述升降主动组件与气浮压板组件可控的接触,用于驱动气浮压板组件升起;所述位移传感器的测头抵接至所述气浮压板组件,用于检测气浮压板组件降落下压产品表面时的位移;所述上横板组用于装置调平及位移传感器的安装;所述测厚架用于装置的支撑。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 苏州天准科技股份有限公司 一种厚度检测设备
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