申请/专利权人:上海朋熙半导体有限公司
申请日:2024-04-01
公开(公告)日:2024-05-17
公开(公告)号:CN118050958A
主分类号:G03F7/20
分类号:G03F7/20
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要:本申请提供了一种监控光罩粒子参数的异常处理方法、设备及存储介质,包括如下步骤:接收设备自动化系统的异常通知;获取设备的设定参数及实际光照参数;复核判定参数是否异常超标;设计光刻时光照参数异常时的异常处理流程;目标系统执行异常处理流程处理异常。可以至少用以解决现有的技术方案需要频繁的人工之间的流转,较为依赖人力,异常处理的效率较低,极大影响了设备OEE,产品的良率及交付的技术问题。
主权项:1.一种监控光罩粒子参数的异常处理方法,其特征在于,包括如下步骤:在目标系统中设计光刻时光照参数异常时的异常处理流程;接收设备自动化系统的异常通知;获取设备的设定参数及实际光照参数;复核判定参数是否异常超标;目标系统执行异常处理流程处理异常。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海朋熙半导体有限公司 一种监控光罩粒子参数的异常处理方法、设备及存储介质
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