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申请/专利权人：胜高股份有限公司
申请日：2023-11-16
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118048680A
主分类号：C30B15/00
分类号：C30B15/00;C30B29/06
优先权：["20221117 JP 2022-184435"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：提供一种集尘冷却装置，其能够在单晶提拉装置中的坩埚或加热器的冷却时有效地回收粉尘，且有效地促进冷却。本发明的集尘冷却装置100具有罩10、导管20、集尘抽吸机30。罩10从上方覆盖坩埚116或加热器124，下方呈开放状态。导管20将罩10和集尘抽吸机30连结。集尘抽吸机30工作，从而气流从罩10的下方流入罩10的内部空间，在该气流穿过加热器124的周围或者坩埚116的周围而经由导管20的内部流入集尘抽吸机30的过程中，集尘抽吸机30回收粉尘，且气流促进冷却。
主权项：1.一种集尘冷却装置，在借助单晶提拉装置完成锭的提拉后，在前述单晶提拉装置中的坩埚或位于前述坩埚的周围的加热器的冷却时，回收从前述坩埚或前述加热器产生的粉尘，且促进前述冷却，前述集尘冷却装置的特征在于，具有罩、集尘抽吸机、导管，前述罩从上方覆盖前述坩埚或前述加热器，下方呈开放状态，前述导管将前述罩和前述集尘抽吸机连结，前述集尘抽吸机工作，从而气流从前述罩的下方流入前述罩的内部空间，在前述气流穿过前述加热器的周围或者前述坩埚的周围而经由前述导管的内部流入前述集尘抽吸机的过程中，前述集尘抽吸机回收前述粉尘，且前述气流促进前述冷却。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 胜高股份有限公司 用于单晶提拉装置的坩埚或加热器的集尘冷却装置及集尘冷却方法
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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