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申请/专利权人：信越聚合物股份有限公司
申请日：2019-03-01
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN111868908B
主分类号：H01L21/673
分类号：H01L21/673;B65D85/30
优先权：["20180313 JP 2018-045064"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2020.12.29#实质审查的生效;2020.10.30#公开
摘要：本发明提供一种基板收纳容器，其具备不使用金属制的构件就能够控制气体流通的阀体。在本发明中，安装于基板收纳容器1上的阀体40具有：筒体41，其形成有开放端部411，并具有内部空间412；以及栓部42，其将内部空间412分隔成第一空间413与第二空间414，并到达开放端部411；以及弹性体43，其覆盖开放端部411以及栓部42；其中，第一空间413具有连通至容器主体10的外部的第一连通孔416；并且第二空间414具有连通至容器主体10的内部的第二连通孔417；弹性体43通过与栓部42紧密相接或与栓部42分离，从而控制气体向容器主体10的流通。
主权项：1.一种基板收纳容器，其特征在于具备：容器主体，其收纳基板；以及盖体，其封闭所述容器主体的开口；阀体，其控制气体向所述容器主体的流入以及流出的两个方向的流通；以及按压部，其中，所述阀体具有：筒体，其形成有开放端部，并具有内部空间；以及栓部，其将所述内部空间分隔成第一空间与第二空间，并到达所述开放端部；以及弹性体，其通过所述按压部可拆卸地安装在所述筒体，并覆盖所述开放端部以及所述栓部；其中，所述第一空间具有连通至所述容器主体的外部的第一连通孔；并且所述第二空间具有连通至所述容器主体的内部的第二连通孔；所述弹性体通过与所述栓部紧密相接或与所述栓部分离，从而控制气体向所述容器主体的流通，所述栓部以与所述弹性体接触的前端面的中央部分推压所述弹性体的方式朝向所述弹性体侧隆起，在对所述第一空间或所述第二空间施加正压的情况时，所述弹性体通过弹性变形并膨胀而与所述栓部之间形成间隙，从而允许所述气体向所述容器主体的流通，且在没有对所述第一空间以及所述第二空间施加正压的情况时，仅通过所述弹性体的弹性变形的复原力而使所述弹性体与所述栓部紧密相接，从而阻断所述气体向所述容器主体的流通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 信越聚合物股份有限公司 基板收纳容器
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