申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2019-04-26

公开（公告）日：2024-05-17

公开（公告）号：CN110413147B

主分类号：G06F3/041

分类号：G06F3/041

优先权：["20180427 KR 10-2018-0049201"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.17#授权;2021.03.26#实质审查的生效;2019.11.05#公开

摘要：提供一种包括触摸感测电极的触摸传感器。所述触摸传感器包括基体层和设置在基体层上的多个第一触摸电极。多个第一触摸电极布置在第一方向上。多个第一触摸电极包括开口，并且彼此电连接。多个第二触摸电极设置在基体层上。多个第二触摸电极布置在第二方向上。多个第二触摸电极彼此电连接。第一压力感测电极和第二压力感测电极彼此分开，并且设置在开口中。第一压力感测电极和第二压力感测电极与第一触摸电极分隔开。第一压力感测电极、第一触摸电极和第二触摸电极都设置在第一层中。

主权项：1.一种触摸传感器，所述触摸传感器包括：基体层，具有第一区域以及与所述第一区域相邻的第二区域；多个第一触摸电极，设置在所述基体层的所述第二区域和所述第一区域上，布置在第一方向上，包括开口，并且彼此电连接；多个第二触摸电极，设置在所述基体层上，布置在与所述第一方向交叉的第二方向上，并且彼此电连接；第一压力感测电极和第二压力感测电极，设置在所述第一区域中，在平面图中彼此隔开并且设置在所述第一触摸电极的所述开口中，其中，所述第一压力感测电极和所述第二压力感测电极与所述第一触摸电极分隔开，并且所述第一压力感测电极、所述第一触摸电极和所述第二触摸电极设置在第一层中；以及噪声感测电极，检测噪声信号，所述噪声感测电极在第二区域中设置在所述开口中，并且与所述第一触摸电极分开。

全文数据：包括触摸感测电极的触摸传感器本申请要求于2018年4月27日提交的第10-2018-0049201号韩国专利申请的优先权，所述韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。技术领域本发明的示例性实施例涉及一种触摸传感器，更具体地，涉及一种包括触摸感测电极的触摸传感器。背景技术诸如智能电话、平板个人计算机PC、数码相机、笔记本计算机、导航系统和智能电视机TV的向用户提供图像的电子装置可以包括用于显示图像的显示装置。显示装置可以包括产生并显示图像的显示面板和各种输入装置。近来，已经在显示装置中例如，在智能电话或平板PC中采用识别触摸输入的触摸传感器。触摸传感器已经越来越多地代替诸如键盘的现有的物理输入装置。已经不仅研究了应用用于检测触摸位置的触摸传感器的方法，而且研究了应用用于检测施加到显示装置的压力的强度的压力传感器的方法。因此，可以使用压力传感器来代替显示装置中的物理按钮。发明内容本发明的示例性实施例提供一种能够感测压力的触摸传感器。本发明的示例性实施例提供一种能够提高触摸灵敏度并检测压力的触摸传感器。根据本发明的示例性实施例，触摸传感器包括基体层和设置在基体层上的多个第一触摸电极。多个第一触摸电极布置在第一方向上。多个第一触摸电极包括开口，并且彼此电连接。多个第二触摸电极设置在基体层上。多个第二触摸电极布置在与第一方向交叉的第二方向上。多个第二触摸电极彼此电连接。第一压力感测电极和第二压力感测电极在平面图中彼此隔开并且设置在第一触摸电极的开口中。第一压力感测电极和第二压力感测电极与第一触摸电极分隔开。第一压力感测电极、第一触摸电极和第二触摸电极都设置在第一层中。根据本发明的示例性实施例，触摸传感器包括基体层和设置在基体层上的第一电极。第一电极布置在第一方向上并且包括开口。第二电极设置在基体层上，并且布置在与第一方向交叉的第二方向上。第三电极和第四电极在平面图中设置在第一电极的开口中。第三电极和第四电极与第一电极分隔开，并且彼此隔开。第三电极中的每个包括第一主干电极以及从第一主干电极分支出的多个第一分支电极。第四电极中的每个包括第二主干电极以及从第二主干电极分支出的多个第二分支电极。第一分支电极和第二分支电极彼此分隔开。根据本发明的示例性实施例，可以提高触摸传感器的灵敏度。附图说明通过参照附图详细地描述本发明的示例性实施例，本发明的以上和其它方面及特征将变得更加清楚，在附图中：图1是根据本发明的示例性实施例的显示装置的示意图；图2是根据本发明的示例性实施例的触摸传感器的框图；图3是用于图2的触摸传感器的驱动方法的时序图；图4是图2的触摸传感器的示意图；图5是图4的部分Q的放大平面图；图6是图5的传感器单元的第一层的放大平面图；图7是图6的第一压力感测电极和第二压力感测电极的放大平面图；图8是图7的第一压力感测电极和第二压力感测电极的放大平面图；图9是图5的传感器单元的第二层的放大平面图；图10是沿图5的线X1-X1'截取的剖视图；图11是沿图5的线X2-X2'截取的剖视图；图12是沿图5的线X3-X3'和线X4-X4'截取的剖视图；图13是包括图10的结构的显示装置的剖视图；图14是根据本发明的示例性实施例的沿图5的线X1-X1'截取的剖视图；图15是示出相对于压力的压力感测层的电阻的曲线图；图16是图2的触摸传感器的传感器单元的第一层的放大平面图；图17是图16的传感器单元的第二层的放大平面图；图18是图16的传感器单元的沿图5的线X1-X1'截取的剖视图；图19是图16的传感器单元的沿图5的线X2-X2'截取的剖视图；图20是图16的传感器单元的沿图5的线X3-X3'和线X4-X4'截取的剖视图；图21和图22是使用第一压力感测电极和第二压力感测电极的感测操作的示意图；图23是根据本发明的示例性实施例的触摸传感器的框图；图24是图23的触摸传感器的示意图；图25是图24的部分R的放大平面图；图26是图25的传感器单元的第一层的放大平面图；图27是图25的传感器单元的第二层的放大平面图；图28是沿图25的线Y1-Y1'截取的剖视图；图29是沿图25的线Y2-Y2'截取的剖视图；图30是沿图25的线Y3-Y3'截取的剖视图；图31是图23的触摸传感器的传感器单元的沿图25的线Y1-Y1'截取的剖视图；图32是图31的传感器单元的沿图25的线Y2-Y2'截取的剖视图；图33是图31的传感器单元的沿图25的线Y3-Y3'截取的剖视图；图34是图23的触摸传感器的传感器单元的第一层的放大平面图；图35是图34的传感器单元的第二层的放大平面图；图36是图34的传感器单元的沿图25的线Y1-Y1'截取的剖视图；图37是图34的传感器单元的沿图25的线Y2-Y2'截取的剖视图；以及图38是图34的传感器单元的沿图25的线Y3-Y3'截取的剖视图。具体实施方式下面将参照附图更详细地描述本发明的示例性实施例。在这方面，示例性实施例可以具有不同的形式，并且不应该被解释为局限于这里所描述的本发明的示例性实施例。在整个说明书和附图中，同样的附图标记可以指同样的元件。如这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式“一”、“一个种者”和“该所述”也可以包括复数形式。将理解的是，当诸如层、膜、区域或板的组件被称为“在”另一组件“上”时，该组件可以直接在所述另一组件上，或者可以存在中间组件。将理解的是，尽管这里可以使用术语“第一”和“第二”来描述各种组件，但是这些组件不应该被这些术语限制。将参照透视图、剖视图和或平面图来描述本发明，所述透视图、剖视图和或平面图中示出了本发明的示例性实施例。因此，根据制造技术和或公差，可以修改示例性视图的轮廓。因此，发明的示例性实施例不意图限制本发明的范围，而是涵盖可能由于制造工艺的变化而引起的所有变化和修改。因此，附图中示出的区域可以以示意形式示出，并且区域的形状可以通过举例说明的方式呈现而不作为限制。附图中示出的元件的尺寸和厚度是示例，因此不应被解释为限制本发明的范围。图1是根据本发明的示例性实施例的显示装置的示意图。图2是根据本发明的示例性实施例的触摸传感器的框图。图3是用于图2的触摸传感器的驱动方法的时序图。参照图1至图3，显示装置1可以包括触摸传感器TSM、显示面板300和显示驱动器400。触摸传感器TSM可以包括传感器单元100和触摸控制器200。传感器单元100和显示面板300可以是单独的元件；然而，本发明的示例性实施例不限于此。例如，传感器单元100和显示面板300可以彼此形成为一个整体。作为示例，根据本发明的示例性实施例，显示面板300和传感器单元100可以形成为单个一体地形成的显示装置参见例如下面的图13的描述。显示面板300可以包括显示区域DA和与显示区域DA相邻的非显示区域NDA。作为示例，非显示区域NDA可以在平面图中布置在显示区域DA的四侧处；然而，本发明的示例性实施例不限于此。例如，非显示区域NDA可以在平面图中布置在显示区域DA的少于四侧例如，三侧处。在显示区域DA中，可以提供多条扫描线310、多条数据线320以及连接到扫描线310和数据线320的多个像素P。在非显示区域NDA中，可以提供布线，所述布线提供用于驱动像素P的各种驱动信号和或驱动电力。显示面板300的类型不具体限于特定类型的显示面板。例如，显示面板300可以是诸如有机发光二极管OLED显示面板、微发光二极管LED显示面板或纳米LED显示面板的发射显示面板。可选地，显示面板300可以是诸如液晶显示LCD面板、电泳显示EPD面板或电润湿显示EWD面板的非发射显示面板。在显示面板300是非发射显示面板的情况下，显示装置1还可以包括向显示面板300供应光的背光单元。作为示例，下面可以将显示面板300描述为OLED显示面板；然而，本发明的示例性实施例不限于此。显示驱动器400可以电连接到显示面板300并且可以提供驱动显示面板300的信号。例如，显示驱动器400可以包括向扫描线310提供扫描信号的扫描驱动器、向数据线320提供数据信号的数据驱动器以及驱动扫描驱动器和数据驱动器的时序控制器中的至少一个。扫描驱动器、数据驱动器和或时序控制器可以集成到单个显示集成电路IC“D-IC”中，但是本发明的示例性实施例不限于此。例如，扫描驱动器、数据驱动器和时序控制器中的至少一个可以集成或安装在显示面板300上。传感器单元100可以设置在显示面板300的至少部分中。例如，传感器单元100可以设置在显示面板300的至少一个表面上以与显示面板300叠置例如，沿与显示面板300的上表面正交的方向。例如，传感器单元100可以设置在显示面板300的显示图像的表面例如，顶表面上。可选地，传感器单元100可以直接形成在显示面板300的至少一个表面上，或者可以形成在显示面板300中。例如，传感器单元100可以直接形成在显示面板300的上基底或下基底的外表面例如，上基底的顶表面或下基底的底表面上，或者显示面板300的上基底或下基底的内表面例如，上基底的底表面或下基底的顶表面上。传感器单元100可以包括感测触摸输入的感测区域SA和与感测区域SA相邻的非感测区域NSA。作为示例，非感测区域NSA可以在平面图中布置在感测区域SA的四侧处；然而，本发明的示例性实施例不限于此。例如，非感测区域NSA可以在平面图中布置在感测区域SA的少于四侧例如，三侧处。感测区域SA可以处于与显示面板300的显示区域DA的位置对应的位置，非感测区域NSA可以处于与显示面板300的非显示区域NDA的位置对应的位置。例如，传感器单元100的感测区域SA可以与显示面板300的显示区域DA叠置，传感器单元100的非感测区域NSA可以与显示面板300的非显示区域NDA叠置例如，沿与显示面板300的上表面正交的方向。在传感器单元100的感测区域SA中，可以提供检测触摸输入的多个第一触摸电极构件120和检测触摸输入的多个第二触摸电极构件130。第一触摸电极构件120可以在第一方向x上延伸并且可以在与第一方向x交叉的第二方向y上彼此分隔开。作为示例，第一方向x可以与第二方向y垂直。第一方向x和第二方向y可以限定显示装置1和或显示驱动器400延伸所沿的平面。第三方向可以与第一方向x和第二方向y垂直。因此，第三方向可以与在第一方向x和第二方向y上延伸的平面正交。第二触摸电极构件130可以在第二方向y上延伸以与第一触摸电极构件120交叉，可以与第一触摸电极构件120绝缘，并且可以在第一方向x上彼此分隔开。在本发明的示例性实施例中，第一触摸电极构件120可以通过至少一个绝缘膜或绝缘层与第二触摸电极构件130绝缘。第一触摸电极构件120的形状、尺寸和或布置方向以及第二触摸电极构件130的形状、尺寸和或布置方向不受具体限制。在非限制性示例中，第一触摸电极构件120和第二触摸电极构件130可以布置为沿x方向和y方向延伸的多个行和列参见例如图4。第一触摸电极构件120和第二触摸电极构件130可以均电连接到触摸控制器200。在本发明的示例性实施例中，第二触摸电极构件130可以是驱动电极构件，所述驱动电极构件从触摸控制器200接收用于检测触摸输入的第一驱动信号Ts，第一触摸电极构件120可以是感测电极构件，所述感测电极构件将用于检测触摸输入的第一感测信号Rs输出到触摸控制器200。第一触摸电极构件120和第二触摸电极构件130可以与设置在显示面板300中的一个或更多个电极叠置例如，沿与显示面板300的上表面正交的方向。例如，在显示面板300是OLED显示面板的情况下，第一触摸电极构件120和第二触摸电极构件130可以与设置在显示面板300中的阴极电极叠置例如，沿与显示面板300的上表面正交的方向。在传感器单元100的感测区域SA中，可以提供检测触摸压力的多个第一压力感测电极构件150和检测触摸压力的多个第二压力感测电极构件170。第一压力感测电极构件150和第二压力感测电极构件170可以与第一触摸电极构件120和第二触摸电极构件130分隔开。例如，第一压力感测电极构件150和第二压力感测电极构件170可以与第一触摸电极构件120和第二触摸电极构件130绝缘。在本发明的示例性实施例中，第一压力感测电极构件150可以在第一方向x上延伸并且可以在与第一方向x交叉的第二方向y上彼此分隔开。在本发明的示例性实施例中，第二压力感测电极构件170可以在第二方向y上延伸，可以与第一压力感测电极构件150绝缘，并且可以在第一方向x上彼此分隔开。第一压力感测电极构件150和第二压力感测电极构件170可以均电连接到触摸控制器200。在本发明的示例性实施例中，第二压力感测电极构件170可以是驱动电极构件，所述驱动电极构件从触摸控制器200接收用于检测触摸压力的第二驱动信号Fs，第一压力感测电极构件150可以是感测电极构件，所述感测电极构件将用于检测触摸压力的第二感测信号RFs输出到触摸控制器200。触摸控制器200可以电连接到传感器单元100，并且可以通过向传感器单元100提供第一驱动信号Ts和第二驱动信号Fs并接收分别与第一驱动信号Ts和第二驱动信号Fs对应的第一感测信号Rs和第二感测信号RFs来检测触摸输入和触摸压力。在本发明的示例性实施例中，触摸控制器200可以包括触摸驱动器210、触摸检测器230和压力检测器250。触摸驱动器210可以将用于检测触摸输入的第一驱动信号Ts提供到第二触摸电极构件130，并且可以将用于检测触摸压力的第二驱动信号Fs提供到第二压力感测电极构件170。触摸检测器230可以从第一触摸电极构件120接收与第一驱动信号Ts对应的第一感测信号Rs，并且可以检测触摸输入的存在和或位置。在本发明的示例性实施例中，第一感测信号Rs可以是关于第一触摸电极构件120与第二触摸电极构件130之间产生的互电容的变化的信息。例如，当产生触摸输入时，在触摸输入的位置处或触摸输入的位置附近，静态电容可以改变。触摸检测器230可以接收关于第一触摸电极构件120与第二触摸电极构件130之间的互电容的变化的信息作为第一感测信号Rs，并且可以使用第一感测信号Rs来确定触摸输入的存在和或位置。在本发明的示例性实施例中，触摸检测器230可以包括放大第一感测信号Rs的一个或更多个放大器、连接到放大器的输出端子的一个或更多个模数转换器ADC以及处理器。下面将参照图4更详细地描述触摸检测器230的结构。压力检测器250可以从第一压力感测电极构件150接收与第二驱动信号Fs对应的第二感测信号RFs，并且可以检测触摸压力。在本发明的示例性实施例中，第二感测信号RFs可以包括关于第一压力感测电极构件150与第二压力感测电极构件170之间的互电容例如，互静态电容的变化的信息，或者关于第一压力感测电极构件150的自电容的信息。压力检测器250可以存储参考值。例如，参考值可以是存储在压力检测器250中的预定值。例如，如果第二感测信号RFs包括关于第一压力感测电极构件150与第二压力感测电极构件170之间的互电容的变化的信息，则参考值可以是当产生具有最大压力的触摸输入时可以获取的互电容变化的总和。随着触摸压力增大，因为触摸输入的压力越高，触摸输入的面积变得越大，所以发生互电容变化的第一压力感测电极构件150的数量可增加。因此，压力检测器250可以存储互电容变化的总和作为参考值，该互电容变化的总和可以从与以最大压力产生的触摸输入的面积对应的第一压力感测电极构件150中的每个来获取。压力检测器250可以通过将从一个或更多个第一压力感测电极构件150检测到的互电容变化的总和与参考值进行比较并且计算参考值与检测到的互电容变化的总和之间的比例来确定触摸压力的强度。可选地，在第二感测信号RFs包括第一压力感测电极构件150的自电容的情况下，压力检测器250可以存储当产生具有最大压力的触摸输入时可以获取的自电容的总和作为参考值。在这种情况下，压力检测器250可以通过将从一个或更多个第一压力感测电极构件150检测到的自电容的总和与参考值进行比较并且计算参考值与检测到的自电容的总和之间的比例来确定触摸压力的强度。触摸驱动器210、触摸检测器230和压力检测器250可以集成到单个触摸IC“T-IC”中。在本发明的示例性实施例中，可以以时分time-division方式来驱动触摸控制器200。例如，在第一时段T1可以可互换地称为第一时间段T1期间，触摸驱动器210可以将第一驱动信号Ts提供到第二触摸电极构件130，并且触摸检测器230可以从第一触摸电极构件120接收第一感测信号Rs。例如，在第二时段T2可以可互换地称为第二时间段T2期间，触摸驱动器210可以将第二驱动信号Fs提供到第二压力感测电极构件170，并且压力检测器250可以从第一压力感测电极构件150接收第二感测信号RFs。第一时段T1和第二时段T2可以彼此不同并且可以至少部分地彼此叠置。因此，第二时间段T2可以不与第一时间段T1完全叠置。第二时段T2可以与第一时段T1完全分开，或者可以与第一时段T1至少部分地叠置。由于触摸控制器200以时分方式驱动，因此可以防止触摸电极构件例如，第一触摸电极构件120和第二触摸电极构件130与压力感测电极构件例如，第一压力感测电极构件150和第二压力感测电极构件170之间的信号干扰，并且可以提高显示装置1的驱动效率。下面将参照图4至图12更详细地描述触摸传感器TSM。图4是图2的触摸传感器的示意图。图5是图4的部分Q的放大平面图。图6是图5的传感器单元的第一层的放大平面图。图7是图6的第一压力感测电极和第二压力感测电极的放大平面图。图8是图7的第一压力感测电极和第二压力感测电极的放大平面图。图9是图5的传感器单元的第二层的放大平面图。图10是沿图5的线X1-X1'截取的剖视图。图11是沿图5的线X2-X2'截取的剖视图。图12是沿图5的线X3-X3'和线X4-X4'截取的剖视图。参照图4至图12，传感器单元100可以包括基体层110、第一触摸电极构件120、第二触摸电极构件130、第一压力感测电极构件150和第二压力感测电极构件170。感测区域SA和非感测区域NSA可以限定在基体层110上方。因此，基体层110可以包括感测区域SA和非感测区域NSA。基体层110可以是传感器单元100的基体可以是刚性基底或柔性基底。例如，基体层110可以是包括玻璃或钢化玻璃的刚性基底，或者可以是形成为包括柔性塑料材料的薄膜的柔性基底。可选地，基体层110可以形成为显示面板300的层。例如，在传感器单元100和显示面板300彼此形成为一个整体的本发明的示例性实施例中，基体层110可以是形成显示面板300的至少一个基底例如，上基底或薄膜封装TFE层。在感测区域SA中，可以设置第一触摸电极构件120、第二触摸电极构件130、第一压力感测电极构件150和第二压力感测电极构件170。第一触摸电极构件120、第二触摸电极构件130、第一压力感测电极构件150和第二压力感测电极构件170可以设置在基体层110上方彼此相同的距离处。因此，第一触摸电极构件120、第二触摸电极构件130、第一压力感测电极构件150和第二压力感测电极构件170可以设置在彼此相同的层中，并且其上水平面和下水平面沿x方向和y方向彼此对齐。第一触摸电极构件120可以在第一方向x上延伸并且可以在第二方向y上彼此分隔开。第一触摸电极构件120中的每个可以包括布置在第一方向x上的多个第一触摸电极121以及在第一方向x上将相邻的第一触摸电极121电连接的第一连接器123。在本发明的示例性实施例中，第一触摸电极121可以与基体层110的第一表面直接接触，并且可以设置在第一层L1中。第一触摸电极121可以是菱形的，但是本发明的示例性实施例不限于此。例如，第一触摸电极121可以是诸如三角形、矩形、五边形、圆形或条形的各种其它形状。第一触摸电极121可以包括透明导电材料。因此，第一触摸电极121可以是基本透明的。例如，第一触摸电极121可以包括诸如氧化铟锡ITO、氧化铟锌IZO、掺杂铝的氧化锌AZO、氧化铟锡锌ITZO、氧化锌ZnO、氧化锡SnO2、碳纳米管或石墨烯的至少一种透明导电材料。第一触摸电极121可以包括开口OP。例如，第一触摸电极121可以在其中心处开口例如，当在平面图中观看时，因此可以暴露基体层110的第一表面。第一连接器123可以在第一方向x上将相邻的第一触摸电极121电连接，并且可以与第一触摸电极121直接接触。在本发明的示例性实施例中，第一连接器123可以形成为桥式连接图案。例如，在本发明的示例性实施例中，第一连接器123可以不必与基体层110直接接触，并且可以设置在与设置有第一触摸电极121的第一层L1不同的第二层L2中。第二层L2可以与第一层L1分隔开。例如，第二层L2可以设置为比第一层L1更远离基体层110。在本发明的示例性实施例中，绝缘层IL可以设置在第一触摸电极121与第一连接器123之间，并且第一连接器123可以经由形成在绝缘层IL中的第一接触孔CH1与第一触摸电极121直接接触。第一连接器123可以包括导电材料。例如，第一连接器123可以包括金Au、银Ag、铝Al、钼Mo、铬Cr、钛Ti、镍Ni、钕Nd、铜Cu、铂Pt或其合金。在本发明的示例性实施例中，第一连接器123可以包括与第一触摸电极121相同的材料。第二触摸电极构件130可以在第二方向y上延伸并且可以在第一方向x上彼此分隔开。第二触摸电极构件130中的每个可以包括布置在第二方向y上的多个第二触摸电极131以及在第二方向y上将相邻的第二触摸电极131电连接的第二连接器133。在本发明的示例性实施例中，第二触摸电极131可以与基体层110的第一表面直接接触，并且可以与第一触摸电极121设置在同一层中例如，在第一层L1中。第二触摸电极131可以是菱形的，但是本发明的示例性实施例不限于此。例如，第二触摸电极131可以是诸如三角形、矩形、五边形、圆形或条形的各种其它形状。第二连接器133可以在第二方向y上将相邻的第二触摸电极131电连接，并且可以与第二触摸电极131直接接触。在本发明的示例性实施例中，第二连接器133可以与基体层110直接接触，并且可以与第一触摸电极121设置在同一层中例如，在第一层L1中。第二连接器133可以与第一连接器123绝缘并且可以与第一连接器123交叉。在本发明的示例性实施例中，绝缘层IL也可以设置在第二连接器133与第一连接器123之间。第二触摸电极131和第二连接器133可以均包括透明导电材料。因此，第二触摸电极131和第二连接器133可以是基本透明的。在本发明的示例性实施例中，第二触摸电极131和第二连接器133可以包括与第一触摸电极121相同的材料。在本发明的示例性实施例中，第二触摸电极131可以是接收第一驱动信号Ts以检测触摸位置的驱动电极，第一触摸电极121可以是输出第一感测信号Rs以检测触摸位置的感测电极。第一压力感测电极构件150中的每个可以包括多个第一压力感测电极151和第一连接线153。第一压力感测电极151可以设置在第一触摸电极121的开口OP中，并且可以与第一触摸电极121分隔开。在本发明的示例性实施例中，第一压力感测电极151可以与基体层110的第一表面直接接触，并且可以与第一触摸电极121设置在同一层中例如，在第一层L1中。在本发明的示例性实施例中，第一压力感测电极151可以设置在第一触摸电极121的开口OP中的每个中。第一压力感测电极151可以包括导电材料。在本发明的示例性实施例中，第一压力感测电极151可以包括透明导电材料，并且可以包括与第一触摸电极121相同的材料。因此，第一压力感测电极151可以是基本透明的。第一连接线153可以在第一方向x上将相邻的第一压力感测电极151电连接，并且可以与第一压力感测电极151直接接触。第一连接线153可以不与第一触摸电极构件120和第二触摸电极构件130直接接触，而是可以与第一触摸电极构件120和第二触摸电极构件130分隔开。在本发明的示例性实施例中，第一连接线153可以与第一连接器123设置在同一层中例如，在第二层L2中，并且可以包括与第一连接器123相同的材料。在平面图中，第一连接线153可以设置为不与第一连接器123叠置。例如，第一连接线153可以将相邻的第一压力感测电极151连接而不穿过设置有第一连接器123的区域。在本发明的示例性实施例中，绝缘层IL也可以设置在第一压力感测电极151与第一连接线153之间，并且第一连接线153可以通过形成在绝缘层IL中的第二接触孔CH2与第一压力感测电极151直接接触。第二压力感测电极构件170中的每个可以包括多个第二压力感测电极171和第二连接线173。第二压力感测电极171可以设置在第一触摸电极121的开口OP中，并且可以与第一触摸电极121和第一压力感测电极151分隔开。在本发明的示例性实施例中，第二压力感测电极171可以与基体层110的第一表面直接接触，并且可以与第一触摸电极121和第一压力感测电极151设置在同一层中例如，在第一层L1中。第二压力感测电极171可以包括导电材料。在本发明的示例性实施例中，第二压力感测电极171可以包括透明导电材料，并且可以包括与第一触摸电极121和第一压力感测电极151相同的材料。因此，第二压力感测电极171可以是基本透明的。第二连接线173可以在第二方向y上将相邻的第二压力感测电极171电连接，并且可以与第二压力感测电极171直接接触。第二连接线173可以不与第一触摸电极构件120、第二触摸电极构件130和第一压力感测电极构件150直接接触，而是可以与第一触摸电极构件120、第二触摸电极构件130和第一压力感测电极构件150分隔开。在本发明的示例性实施例中，第二连接线173可以与第一连接线153和第一连接器123设置在同一层中例如，在第二层L2中，并且可以包括与第一连接线153和第一连接器123相同的材料。在本发明的示例性实施例中，绝缘层IL可以设置在第二压力感测电极171与第二连接线173之间，并且第二连接线173可以通过形成在绝缘层IL中的第三接触孔CH3和第四接触孔CH4与第二压力感测电极171直接接触。在本发明的示例性实施例中，第二压力感测电极171可以是接收第二驱动信号Fs以检测触摸压力的驱动电极，第一压力感测电极151可以是输出第二感测信号RFs以检测触摸压力的感测电极。设置有第一压力感测电极151和第二压力感测电极171的开口OP可以不形成在作为驱动电极的第二触摸电极131中，并且可以形成在作为感测电极的第一触摸电极121中。因此，可以防止第一驱动信号Ts与第二驱动信号Fs之间的干扰。在本发明的示例性实施例中，第一压力感测电极151和第二压力感测电极171可以是梳形电极参见例如图7。第一压力感测电极151和第二压力感测电极171可以包括彼此交替地且重复地分隔开的分支电极。例如，第一压力感测电极151的分支电极的相对侧可以分别与第二压力感测电极171的第一分支电极和第二分支电极相邻。例如，第一压力感测电极151和第二压力感测电极171可以均包括主干电极或连接电极和分支电极或指形电极。第一压力感测电极151和第二压力感测电极171可以布置为使得第一压力感测电极151中的每个的分支电极与第二压力感测电极171中的每个的分支电极可以相对于彼此交错。因此，可以扩大第一压力感测电极151和第二压力感测电极171彼此面对的面积，结果，可以执行有效的压力感测。因此，第一压力感测电极151中的每个的分支电极和第二压力感测电极171中的每个的分支电极在平面图中可以不彼此叠置。第一压力感测电极151中的每个可以包括在一个方向上延伸的第一主干电极1511以及从第一主干电极1511分支出的多个第一分支电极1513。作为示例，第一分支电极1513均可以与第一主干电极1511垂直。在开口OP中彼此相邻的第一分支电极1513可以彼此分开预定距离，并且可以设置在第二压力感测电极171的多个第二分支电极1713之间。作为示例，设置在每个开口OP中的第一分支电极1513的数量可以是2至20。第二压力感测电极171中的每个可以包括在一个方向上延伸的第二主干电极1711以及从第二主干电极1711分支出的多个第二分支电极1713。作为示例，第二分支电极1713均可以与第二主干电极1711垂直。第二分支电极1713可以从第二主干电极1711分支出并延伸。第二分支电极1713延伸的方向可以与第一分支电极1513延伸的方向相反。第二分支电极1713可以设置在第一分支电极1513之间。作为示例，设置在每个开口OP中的第一分支电极1513的数量可以与设置在每个开口OP中的第二分支电极1713的数量相同，但是本发明的示例性实施例不限于此。第一分支电极1513和第二分支电极1713可以交替地布置在开口OP中。开口OP中的每对相邻的分支电极第一分支电极1513和第二分支电极1713之间的距离可以是基本均匀的，但是本发明的示例性实施例不限于此。可以以各种方式修改第一压力感测电极151和第二压力感测电极171的结构。例如，第二压力感测电极171'可以形成为围绕第一压力感测电极151'例如，在平面图中，诸如在图8中，并且第一压力感测电极151'可以是菱形的diamond-shaped。可以对第一压力感测电极151和第二压力感测电极171的结构进行除了这里阐述的修改之外的各种修改。绝缘层IL可以设置在第一层L1与第二层L2之间。在本发明的示例性实施例中，绝缘层IL可以设置为不与第二触摸电极131叠置例如，沿与显示面板300的上表面正交的方向。绝缘层IL可以与第一触摸电极121、第一压力感测电极151、第二压力感测电极171、第一连接器123和第二连接器133叠置例如，沿与显示面板300的上表面正交的方向，但是本发明的示例性实施例不限于此。可以以各种方式来修改绝缘层IL的位置和形状，使得绝缘层IL使第一触摸电极构件120、第二触摸电极构件130、第一压力感测电极构件150和第二压力感测电极构件170彼此绝缘。在本发明的示例性实施例中，可以在基体层110的非感测区域NSA中设置布线例如，布线141、143、145和或147。例如，布线例如，141、143、145和147可以包括将第二触摸电极构件130和触摸驱动器210电连接的第一布线141、将第二压力感测电极构件170和触摸驱动器210电连接的第二布线143、将第一触摸电极构件120和触摸检测器230电连接的第三布线145以及将第一压力感测电极构件150和压力检测器250电连接的第四布线147。触摸驱动器210可以经由第一布线141向第二触摸电极构件130提供第一驱动信号Ts，并且可以经由第二布线143向第二压力感测电极构件170提供第二驱动信号Fs。触摸检测器230可以经由第三布线145从第一触摸电极构件120接收第一感测信号Rs。在本发明的示例性实施例中，第一感测信号Rs可以包括关于第一触摸电极构件120与第二触摸电极构件130之间的互电容的变化的信息。在本发明的示例性实施例中，触摸检测器230可以包括诸如运算OP放大器的一个或更多个放大器231、一个或更多个ADC233以及处理器235。放大器231中的每个可以包括第一输入端子231a、第二输入端子231b和输出端子231c。放大器231的第一输入端子231a例如，OP放大器的反相输入端子可以经由第三布线145电连接到第一触摸电极构件120，并且第一感测信号Rs可以输入到放大器231的第一输入端子231a。放大器231的第二输入端子231b例如，OP放大器的非反相输入端子可以是参考电位端子，并且可以连接到诸如接地电源的参考电源。放大器231的输出端子231c可以电连接到ADC233。ADC233可以将输入到其的模拟信号转换为数字信号。可以提供与第一触摸电极构件120一样多的ADC233，使得ADC233可以与第一触摸电极构件120一一对应。可选地，第一触摸电极构件120可以被配置为一起共享单个ADC233，在这种情况下，可以提供用于选择通道的开关电路。处理器235可以对由ADC233提供的数字信号执行信号处理，并且可以基于信号处理的结果来检测触摸输入。例如，处理器235可以分析由放大器231放大并由ADC233转换的第一感测信号Rs，并且可以基于分析的结果来确定触摸输入的存在和位置。处理器235可以实现为微处理单元MPU，在这种情况下，可以在触摸检测器230中提供用于驱动处理器235的存储器。处理器235的配置不受具体限制。例如，可选地，处理器235可以实现为微控制器单元MCU。压力检测器250可以经由第四布线147从第一压力感测电极构件150接收第二感测信号RFs。第二感测信号RFs可以包括关于第一压力感测电极构件150与第二压力感测电极构件170之间的互电容的变化的信息，或者关于第一压力感测电极构件150的自电容的信息。压力检测器250可以通过将第二感测信号RFs与先前存储的参考值进行比较来确定触摸压力的强度。由于第一触摸电极121、第二触摸电极131、第一压力感测电极151和第二压力感测电极171可以全部设置在同一层例如，第一层L1中，因此第一触摸电极121、第二触摸电极131、第一压力感测电极151和第二压力感测电极171可以基本同时形成，结果，可以使触摸传感器TSM的制造简化。因此，可以降低制造成本，并且可以提高制造效率。此外，由于第一触摸电极121、第二触摸电极131、第一压力感测电极151和第二压力感测电极171可以全部设置在第一层L1中，因此触摸传感器TSM可以被提供有压力感测功能，并且可以纤薄化，从而相对薄。基体层110可以是传感器单元100的基体可以是OLED显示面板的TFE层。基体层110可以形成为包括至少一个有机膜和至少一个无机膜的多层膜，或者形成为包括有机材料和无机材料的组合的单层膜。例如，基体层110可以形成为多层膜，该多层膜包括至少两个无机膜和设置在所述至少两个无机膜之间的至少一个有机膜。在基体层110实现为OLED显示面板的TFE层的显示装置1中，传感器单元100的电极和显示面板300的元件可以设置在基体层110的不同表面上。下面将参照图13更详细地描述传感器单元100的电极和显示面板300的元件的布置。下面可以省略与上面提供的传感器单元100的组件、层或区域的描述相同或基本相同的传感器单元100的组件、层或区域的描述。图13是包括图10的结构的显示装置的剖视图。参照图13，传感器单元100可以直接形成或设置在显示面板300上例如，在OLED显示面板的TFE层上。例如，显示面板300和传感器单元100可以彼此形成为一个整体。例如，传感器单元100的基体层110可以是显示面板300的TFE层。因此，这里基体层110可以可互换地称为薄膜封装TFE层110。作为示例，显示面板300可以包括发光元件例如，OLED和连接到发光元件的TFT。显示面板300可以包括第一基底330、设置在第一基底330的第一表面上的OLED以及设置在OLED上的TFE层110。TFE层110可以基本覆盖OLED。显示面板300可以包括连接到OLED的至少一个薄膜晶体管TFT。TFT可以设置在第一基底330与OLED之间。显示面板300可以包括至少一条电源线、至少一条信号线和或至少一个电容器。第一基底330可以是刚性基底或柔性基底，并且包括在第一基底330中的材料不限于具体材料。例如，第一基底330可以是具有柔性的薄膜基底。缓冲层BFL可以设置在第一基底330的第一表面上。例如，缓冲层BFL可以与第一基底330的面对传感器单元100的上表面直接接触。缓冲层BFL可以防止杂质从第一基底330扩散并且可以增加第一基底330的平坦度。缓冲层BFL可以包括单层膜或具有至少两个层的多层膜。缓冲层BFL可以包括包含无机材料的无机绝缘层。例如，缓冲层BFL可以包括氮化硅、氧化硅或氮氧化硅。在缓冲层BFL包括多层膜的情况下，多层膜的层可以包括彼此相同的材料或者可以包括彼此不同的材料。根据本发明的示例性实施例，可以省略缓冲层BFL。TFT可以设置在缓冲层BFL上。TFT可以包括有源层ACT、栅电极GE、源电极SE和漏电极DE。有源层ACT可以设置在缓冲层BFL上，并且可以包括半导体材料。例如，有源层ACT可以是包括多晶硅、非晶硅或氧化物半导体的半导体图案。例如，有源层ACT的与栅电极GE叠置例如，沿与第一基底330的上表面正交的方向的部分可以不掺杂有杂质，有源层ACT的其余部分可以掺杂有杂质。栅极绝缘膜GI可以设置在有源层ACT上，栅电极GE可以设置在栅极绝缘膜GI上。层间绝缘膜ILA可以设置在栅电极GE上，源电极SE和漏电极DE可以设置在层间绝缘膜ILA上。源电极SE和漏电极DE可以经由穿透栅极绝缘膜GI和层间绝缘膜ILA的接触孔CHA与有源层ACT直接接触并且电连接到有源层ACT。钝化层PSV可以设置在源电极SE和漏电极DE上。钝化层PSV可以基本覆盖TFT。OLED可以设置在钝化层PSV上。OLED可以包括第一电极EL1、第二电极EL2以及设置在第一电极EL1与第二电极EL2之间的发射层EML。OLED的第一电极EL1可以是阳极，但是本发明的示例性实施例不限于此。例如，第一电极EL1可以是阴极。OLED的第一电极EL1可以经由穿透钝化层PSV的接触孔CHB与TFT的电极例如，漏电极DE直接接触，并且可以电连接到TFT的电极例如，漏电极DE。限定每个像素区域例如，或每个像素的发射区域的像素限定层PDL可以设置在第一基底330的设置有第一电极EL1的第一表面上。像素限定层PDL可以暴露第一电极EL1的顶表面并且可以沿每个像素区域的边界从第一基底330突出。发射层EML可以设置在每个像素区域中，并且可以被像素限定层PDL围绕例如，在平面图中。例如，发射层EML可以设置在第一电极EL1的表面的暴露部分上。发射层EML可以具有多层薄膜结构，所述多层薄膜结构至少包括光产生层。例如，发射层EML可以包括空穴注入层、空穴传输层、光产生层、空穴阻挡层、电子传输层或电子注入层。由发射层EML产生的光的颜色可以是红色、绿色和蓝色中的一种，但是本发明的示例性实施例不限于此。可选地，由发射层EML产生的光的颜色可以是品红色、青色和黄色中的一种。OLED的第二电极EL2可以设置在发射层EML上。OLED的第二电极EL2可以是阴极。基本覆盖OLED的第二电极EL2的TFE层110可以设置在OLED的第二电极EL2上。当显示面板300的每个像素区域被TFE层110封装时，可以减小显示装置1的厚度，并且可以提高显示装置1的柔性。TFE层110可以包括单层或多层膜。例如，TFE层110可以包括彼此叠置例如，沿与第一基底330的上表面正交的方向的第一无机膜111和第二无机膜113以及设置在第一无机膜111与第二无机膜113之间的有机膜112。在显示装置1中，显示面板300可以实现为包括TFE层110的OLED显示面板，并且传感器单元100的电极可以直接形成在TFE层110上。例如，第一触摸电极121、第二触摸电极131、第二连接器133、第一压力感测电极151和第二压力感测电极171可以直接设置在TFE层110上。根据本发明的示例性实施例，显示装置1可以包括显示面板300，显示面板300包括基体基底330、位于基体基底330上方的薄膜晶体管TFT、与薄膜晶体管TFT电连接的发射层EML以及位于发射层EML上方的薄膜封装层110。传感器单元100可以直接设置在薄膜封装层110上。传感器单元100可以包括设置在薄膜封装层110上的多个第一触摸电极121。多个第一触摸电极121可以布置在第一方向例如，x方向上。多个第一触摸电极121可以包括开口OP。多个第一触摸电极121可以彼此电连接。多个第二触摸电极131可以设置在薄膜封装层110上。多个第二触摸电极131可以布置在与第一方向交叉的第二方向例如，y方向上。多个第二触摸电极131可以彼此电连接。第一压力感测电极151和第二压力感测电极171可以彼此隔开，并且可以在平面图中例如，沿与第一方向x和第二方向y正交的方向设置在第一触摸电极121的开口OP中。第一压力感测电极151和第二压力感测电极171可以与第一触摸电极121分隔开。第一压力感测电极151、第二压力感测电极171、第一触摸电极121和第二触摸电极131可以均与薄膜封装层110直接接触。因此，根据本发明的示例性实施例，显示面板300和传感器单元100可以形成为单个一体地形成的显示装置1。图14是根据本发明的示例性实施例的沿图5的线X1-X1'截取的剖视图。图15是示出相对于压力的压力感测层的电阻的曲线图。参照图14，传感器单元100-1除了它还包括压力感测层PSL之外，与传感器单元100基本相同。沿图5的线X2-X2'截取的传感器单元100-1的剖面结构可以与参照图11描述的结构基本相同，并且沿图5的线X3-X3'截取的传感器单元100-1的剖面结构可以与参照图12描述的结构基本相同。因此，下面将集中于与传感器单元100的不同之处更详细地描述传感器单元100-1。压力感测层PSL可以设置在第一触摸电极121的开口OP中。压力感测层PSL可以设置在第一压力感测电极151和第二压力感测电极171上，并且可以部分地覆盖第一压力感测电极151和第二压力感测电极171。压力感测层PSL可以与第一压力感测电极151和第二压力感测电极171的上表面和侧表面直接接触。压力感测层PSL可以设置在开口OP中，并且可以与第一触摸电极121分隔开。在本发明的示例性实施例中，压力感测层PSL可以设置在绝缘层IL下方。压力感测层PSL的上表面和侧表面可以被绝缘层IL基本覆盖。压力感测层PSL可以包括压敏材料。压敏材料可以包括纳米颗粒，所述纳米颗粒包括诸如Al、锡Sn或Cu的金属或碳C。压敏材料可以以颗粒的形式设置在聚合物树脂中，但是本发明的示例性实施例不限于此。参照图15，随着施加到压力感测层PSL的压力增大，压力感测层PSL的电阻减小，并且通过使用压力感测层PSL的这种特性，可以检测压力的存在和强度。第一压力感测电极151和第二压力感测电极171可以经由压力感测层PSL电连接。压力感测层PSL可以用作第一压力感测电极151与第二压力感测电极171之间的电阻器。当没有压力或仅相对小的压力施加到压力感测层PSL时，压力感测层PSL具有高电阻。在这种情况下，即使第二驱动信号Fs施加到第二压力感测电极171，电流也可能根本不流到第一压力感测电极151。另一方面，随着施加到压力感测层PSL的压力增大，压力感测层PSL的电阻减小，并且在第一压力感测电极151与第二压力感测电极171之间流动的电流的量增加。因此，当驱动电压作为第二驱动信号Fs施加到第二压力感测电极171时，压力检测器230可以检测在第一压力感测电极151中产生的电流量作为第二感测信号RFs，并且可以将感测到的电流量转换为电压数据。然后，可以基于电压数据来识别施加到压力感测层PSL的压力的水平。图16是图2的触摸传感器的传感器单元的第一层的放大平面图。图17是图16的传感器单元的第二层的放大平面图。图18是图16的传感器单元的沿图5的线X1-X1'截取的剖视图。图19是图16的传感器单元的沿图5的线X2-X2'截取的剖视图。图20是图16的传感器单元的沿图5的线X3-X3'和线X4-X4'截取的剖视图。图21和图22是使用第一压力感测电极和第二压力感测电极的感测操作的示意图。参照图16至图22，除了绝缘层IL'可以具有弹性，并且第一压力感测电极151可以设置在与第一层L1分隔开的第二层L2中之外，传感器单元100-2与上面参照图6至图12描述的传感器单元100基本相同。因此，下面将集中于与传感器单元100的不同之处更详细地描述传感器单元100-2。绝缘层IL'可以具有介电性，并且可以是具有弹性的弹性构件。例如，绝缘层IL'可以通过施加到其的外部压力而变形，并且可以具有足够的弹性以使得一旦移除外部压力就返回到其初始状态。在本发明的示例性实施例中，绝缘层IL'可以包括具有弹性的绝缘材料。例如，绝缘材料可以是热塑性弹性体、聚苯乙烯、聚烯烃、聚氨酯热塑性弹性体、聚酰胺、合成橡胶、聚二甲基硅氧烷、聚丁二烯、聚异丁烯、聚苯乙烯-丁二烯-苯乙烯、聚氨酯、聚氯丁二烯、聚乙烯、硅树脂或其组合，但是本发明的示例性实施例不限于此。第一压力感测电极151和第二压力感测电极171可以设置在彼此不同的层中。例如，第二压力感测电极171如同第一触摸电极121，可以设置在第一层L1中，第一压力感测电极151如同第一连接线153和第二连接线173，可以设置在第二层L2中。第一压力感测电极151可以设置在绝缘层IL'上。如上所述，第一压力感测电极151和第一连接线153可以设置在彼此相同的层中例如，在第二层L2中。因此，在绝缘层IL'中，可以不形成用于连接第一压力感测电极151和第一连接线153的第二接触孔CH2。可选地，第二压力感测电极171可以设置在第二层L2中，第一压力感测电极151可以设置在第一层L1中。当没有压力施加到传感器单元100-2时，第一静态电容C1可以形成在第一压力感测电极151与第二压力感测电极171之间参见例如图21。当压力施加到传感器单元100-2时例如，响应于正在被用户触摸的传感器单元100-2，绝缘层IL'可以通过压力而变形，结果，第一压力感测电极151与第二压力感测电极171之间的距离可以改变。因此，第一压力感测电极151与第二压力感测电极171之间的静态电容可以改变。例如，由于施加到传感器单元100-2的压力，第一静态电容C1可以变为第二静态电容C2。随着施加到传感器单元100-2的压力增大，第一压力感测电极151与第二压力感测电极171之间的静态电容可以增大。压力检测器230可以从第一压力感测电极151获取静态电容变化作为第二感测信号RFs，并且可以基于所获取的静态电容变化来检测触摸压力的强度。图23是根据本发明的示例性实施例的触摸传感器的框图。参照图23，触摸传感器TSM'可以包括传感器单元100-3和触摸控制器200。传感器单元100-3可以包括第一触摸电极构件120、第二触摸电极构件130、第一压力感测电极构件150和第二压力感测电极构件170，并且还可以包括噪声感测电极构件160。噪声感测电极构件160可以电连接到触摸控制器200，例如，电连接到触摸控制器200的触摸检测器230。噪声感测电极构件160可以感测由传感器单元100-3产生的噪声，并且可以向触摸检测器230提供感测到的噪声作为第三感测信号Ns。触摸检测器230可以从第一触摸电极构件120接收第一感测信号Rs，可以从噪声感测电极构件160接收作为噪声信号的第三感测信号Ns，并且可以使用第三感测信号Ns来去除或抵消包括在第一感测信号Rs中的噪声。触摸传感器TSM'的其它元件可以与触摸传感器TSM的其各个对应部分基本相同，因此，这里可以省略重复的描述。下面将参照图24至图30更详细地描述传感器单元100-3。图24是图23的触摸传感器的示意图。图25是图24的部分R的放大平面图。图26是图25的传感器单元的第一层的放大平面图。图27是图25的传感器单元的第二层的放大平面图。图28是沿图25的线Y1-Y1'截取的剖视图。图29是沿图25的线Y2-Y2'截取的剖视图。图30是沿图25的线Y3-Y3'截取的剖视图。参照图24至图30，传感器单元100-3可以包括基体层110、第一触摸电极构件120、第二触摸电极构件130、第一压力感测电极构件150、第二压力感测电极构件170和噪声感测电极构件160。基体层110可以包括感测区域SA'和非感测区域NSA。感测区域SA'可以包括第一区域SA1以及与第一区域SA1相邻的第二区域SA2。在本发明的示例性实施例中，第一区域SA1可以是感测区域SA'的与显示装置1的显示驱动器400相邻的部分，第二区域SA2可以是感测区域SA'的相对远离显示驱动器400的部分。因此，第一区域SA1可以比第二区域SA2相对更靠近显示驱动器400。在本发明的示例性实施例中，第一区域SA1可以是感测区域SA'的与显示装置1的触摸驱动器210相邻的部分，第二区域SA2可以是感测区域SA'的相对远离触摸驱动器210的部分。因此，第一区域SA1可以比第二区域SA2相对更靠近触摸驱动器210。在基体层110的第一区域SA1和第二区域SA2中，可以设置第一触摸电极构件120、与第一触摸电极构件120分隔开例如，与第一触摸电极构件120绝缘的第二触摸电极构件130、第一压力感测电极构件150以及第二压力感测电极构件170。第一触摸电极构件120中的每个可以包括布置在第一方向x上的多个第一触摸电极121以及在第一方向x上将相邻的第一触摸电极121电连接的第一连接器123。第一触摸电极121可以均包括开口例如，孔OP。第二触摸电极构件130中的每个可以包括沿第二方向y布置的多个第二触摸电极131以及在第二方向y上将相邻的第二触摸电极131电连接的第二连接器133。第一压力感测电极构件150中的每个可以包括多个第一压力感测电极151和第一连接线153。第一压力感测电极151可以设置在第一触摸电极121的开口OP中，并且可以与第一触摸电极121分隔开。第一连接线153可以在第一方向x上将相邻的第一压力感测电极151电连接，并且可以与第一压力感测电极151直接接触。第二压力感测电极构件170中的每个可以包括多个第二压力感测电极171和第二连接线173。第二压力感测电极171可以设置在第一触摸电极121的开口OP中，并且可以与第一触摸电极121和第一压力感测电极151分隔开。第二连接线173可以在第二方向y上将相邻的第二压力感测电极171电连接，并且可以与第二压力感测电极171直接接触。在本发明的示例性实施例中，绝缘层IL可以设置在第二压力感测电极171与第二连接线173之间，并且第二连接线173可以经由形成在绝缘层IL中的第三接触孔CH3和第四接触孔CH4与第二压力感测电极171直接接触。在本发明的示例性实施例中，第二压力感测电极171可以是接收第二驱动信号Fs以检测触摸压力的驱动电极，第一压力感测电极151可以是输出第二感测信号RFs以检测触摸压力的感测电极。第一触摸电极121、第二触摸电极131、第二连接器133、第一压力感测电极151和第二压力感测电极171可以设置在第一层L1中，第一连接器123、第一连接线153和第二连接线173可以设置在与第一层L1分隔开的第二层L2中。在本发明的示例性实施例中，设置在第二层L2中的元件可以设置在绝缘层IL上。第一压力感测电极构件150和第二压力感测电极构件170可以设置在感测区域SA'的第一区域SA1中，而不设置在感测区域SA'的第二区域SA2中。例如，第一压力感测电极151和第二压力感测电极171可以设置在布置于第一区域SA1中的第一触摸电极121的开口OP中。在第二区域SA2中，可以设置噪声感测电极构件160。噪声感测电极构件160可以感测从显示面板300引入到传感器单元100-3中的噪声。噪声感测电极构件160中的每个可以包括噪声感测电极161和第三连接线163。噪声感测电极161可以在第二区域SA2中设置在第一触摸电极121的开口OP中，并且可以与第一触摸电极121分隔开。在本发明的示例性实施例中，噪声感测电极161可以与第一触摸电极121设置在同一层中例如，在第一层L1中，并且可以与基体层110直接接触。噪声感测电极161可以包括导电材料。噪声感测电极161可以包括透明导电材料。因此，噪声感测电极161可以是基本透明的。在本发明的示例性实施例中，噪声感测电极161可以包括与第一触摸电极121相同的材料。绝缘层IL可以设置在噪声感测电极161上，第三连接线163可以设置在绝缘层IL上。第三连接线163可以在第一方向x上将相邻的噪声感测电极161电连接。在本发明的示例性实施例中，第三连接线163可以经由形成在绝缘层IL中的第五接触孔CH5与噪声感测电极161直接接触。第三连接线163可以与第一触摸电极构件120、第二触摸电极构件130、第一压力感测电极构件150和第二压力感测电极构件170分隔开。在本发明的示例性实施例中，第三连接线163可以与第一连接线153和第二连接线173设置在同一层中例如，在第二层L2中。第三连接线163可以包括导电材料。在本发明的示例性实施例中，第三连接线163可以包括与第一连接线153和第二连接线173相同的材料。在本发明的示例性实施例中，在基体层110的非感测区域NSA中，可以设置布线例如，布线141、143、145、147和或149。例如，布线例如，141、143、145、147和或149可以包括将第二触摸电极构件130和触摸驱动器210电连接的第一布线141、将第二压力感测电极构件170和触摸驱动器210电连接的第二布线143、将第一触摸电极构件120和触摸检测器230电连接的第三布线145、将第一压力感测电极构件150和压力检测器250电连接的第四布线147以及将噪声感测电极构件160和触摸检测器230电连接的第五布线149。触摸驱动器210可以经由第一布线141向第二触摸电极构件130提供第一驱动信号Ts，并且可以经由第二布线143向第二压力感测电极构件170提供第二驱动信号Fs。压力检测器250可以经由第四布线147从第一压力感测电极构件150接收第二感测信号RFs。触摸检测器230可以经由第三布线145从第一触摸电极构件120接收第一感测信号Rs，并且可以经由第五布线149从噪声感测电极构件160接收作为噪声信号的第三感测信号Ns。在本发明的示例性实施例中，第三感测信号Ns可以提供到放大器231的可以是非反相输入端子的第二输入端子231b。因此，放大器231的参考电压可以根据噪声感测电极构件160的电压而变化。例如，放大器231的参考电位可以根据噪声感测电极构件160的电位例如，或电压而变化。噪声感测电极构件160的电位可以根据从显示面板300引入到传感器单元100-3的噪声信号而变化。例如，噪声感测电极构件160的电位可以根据从显示面板300引入到传感器单元100-3的共模噪声而变化。因此，噪声感测电极构件160可以设置在感测区域SA'中，并且可以通过使用由噪声感测电极构件160感测的第三感测信号Ns来改变放大器231的参考电位而抵消例如，或去除引入到传感器单元100-3的共模噪声。例如，作为感测电极构件的噪声感测电极构件160和第一触摸电极构件120可以具有与共模噪声对应的波纹ripple。例如，第一触摸电极构件120和噪声感测电极构件160可以在感测区域SA'中在彼此相同的方向上延伸，因此可以接收相同模式和或强度例如，或类似的模式和或强度的噪声信号。第一触摸电极构件120可以经由第三布线145电连接到放大器231的第一输入端子231a，噪声感测电极构件160可以经由与第三布线145分隔开的第五布线149电连接到放大器231的第二输入端子231b。因此，可以有效地抵消从第一触摸电极构件120接收的第一感测信号Rs中包括的噪声成分例如，或波纹。因此，由放大器231的输出端子231c输出的信号可以是从其中去除噪声的感测信号。可以在噪声感测电极构件160与触摸检测器230之间设置一个或更多个缓冲器Bu。缓冲器Bu可以连接在噪声感测电极构件160与触摸检测器230之间，并且缓冲并输出从噪声感测电极构件160输入到其的第三感测信号Ns例如，噪声信号。缓冲器Bu可以包括电连接到输出端子Buc的第三输入端子Bua以及电连接到噪声感测电极构件160并接收第三感测信号Ns的第四输入端子Bub。第三输入端子Bua和第四输入端子Bub可以分别是反相输入端子和非反相输入端子，但是本发明的示例性实施例不限于此。例如，缓冲器Bu的连接结构可以变化。触摸传感器TSM'可以有效地抵消从显示面板300引入的噪声信号，并且可以改善信噪比SNR。因此，可以减少或消除会由噪声信号引起的触摸传感器TSM'的故障，并且可以提高触摸传感器TSM'的感测灵敏度。传感器单元100-3可以设置在显示面板300的TFE层上。因此，因为传感器单元100-3可以与显示面板300相距较短的距离，所以触摸传感器TSM'可以用于对噪声相对敏感的显示装置。图31是图23的触摸传感器的传感器单元的沿图25的线Y1-Y1'截取的剖视图。图32是图31的传感器单元的沿图25的线Y2-Y2'截取的剖视图。图33是图31的传感器单元的沿图25的线Y3-Y3'截取的剖视图。参照图31至图33，传感器单元100-4除了它还包括压力感测层PSL之外，与以上描述的传感器单元100-3基本相同。压力感测层PSL可以设置在感测区域SA'的第一区域SA1中，而不设置在感测区域SA'的第二区域SA2中。压力感测层PSL可以在第一区域SA1中设置在第一触摸电极121的开口OP中。压力感测层PSL可以设置在第一压力感测电极151和第二压力感测电极171上，并且可以部分地覆盖第一压力感测电极151和第二压力感测电极171。压力感测层PSL可以与第一压力感测电极151和第二压力感测电极171的上表面和侧表面直接接触。压力感测层PSL可以设置在开口OP中，并且可以与第一触摸电极121分隔开。在本发明的示例性实施例中，压力感测层PSL可以设置在绝缘层IL下方。压力感测层PSL的上表面和侧表面可以被绝缘层IL基本覆盖。参照图31-图33描述的压力感测层PSL可以与以上参照图14和图15描述的压力感测层PSL基本相同，因此，可以省略重复的描述。图34是图23的触摸传感器的传感器单元的第一层的放大平面图。图35是图34的传感器单元的第二层的放大平面图。图36是图34的传感器单元的沿图25的线Y1-Y1'截取的剖视图。图37是图34的传感器单元的沿图25的线Y2-Y2'截取的剖视图。图38是图34的传感器单元的沿图25的线Y3-Y3'截取的剖视图。参照图34至图38，传感器单元100-5与上述传感器单元100-3基本相同，因此下面将集中于不同之处。绝缘层IL'可以具有弹性。第一压力感测电极151可以设置在第二层L2中，而不设置在第一层L1中。绝缘层IL'可以具有介电性，并且可以是具有弹性的弹性构件。第一压力感测电极151和第二压力感测电极171可以设置在彼此不同的层中。例如，第二压力感测电极171如同第一触摸电极121，可以设置在第一层L1中，第一压力感测电极151如同第一连接线153和第二连接线173，可以设置在第二层L2中。第一压力感测电极151可以设置在绝缘层IL'上。绝缘层IL'以及使用第一压力感测电极151和第二压力感测电极171的触摸压力强度的检测可以与以上参照图16至图22描述的相同，因此，可以省略重复的描述。根据本发明的示例性实施例的触摸传感器不仅可以检测触摸输入，而且可以检测触摸压力的强度。因此，根据本发明的示例性实施例的触摸传感器可以代替现有的物理输入按钮，或者可以与现有的物理输入按钮一起使用。由于根据本发明的示例性实施例的触摸传感器可以检测用户输入或压力的强度，因此根据本发明的示例性实施例的触摸传感器可以用作显示装置1的输入装置，并且可以提供各种用户界面。例如，根据本发明的示例性实施例的触摸传感器可以检测施加到其的压力的存在和强度。此外，根据本发明的示例性实施例的触摸传感器可以使得显示装置1根据施加到其特定位置的压力的存在和或强度来执行各种预先编排的操作。例如，显示装置1可以执行诸如调整、锁定或转换屏幕、调用和执行应用程序、拍照或接收呼叫的各种预先编排的操作。根据本发明的示例性实施例的触摸传感器可以抵消从显示面板300引入的噪声，并且因此可以提高触摸灵敏度。尽管已经参照本发明的示例性实施例示出并描述了本发明，但是对于本领域普通技术人员而言将明显的是，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可以对其进行形式和细节上的各种改变。

权利要求：1.一种触摸传感器，所述触摸传感器包括：基体层；多个第一触摸电极，设置在所述基体层上，布置在第一方向上，包括开口，并且彼此电连接；多个第二触摸电极，设置在所述基体层上，布置在与所述第一方向交叉的第二方向上，并且彼此电连接；以及第一压力感测电极和第二压力感测电极，在平面图中彼此隔开并且设置在所述第一触摸电极的所述开口中，其中，所述第一压力感测电极和所述第二压力感测电极与所述第一触摸电极分隔开，其中，所述第一压力感测电极、所述第一触摸电极和所述第二触摸电极设置在第一层中。2.根据权利要求1所述的触摸传感器，其中，所述第二压力感测电极设置在所述第一层中，并且其中，所述第一压力感测电极、所述第二压力感测电极、所述第一触摸电极和所述第二触摸电极包括彼此相同的材料。3.根据权利要求2所述的触摸传感器，所述触摸传感器还包括：第一连接器，在所述第一方向上将相邻的第一触摸电极连接；以及第二连接器，在所述第二方向上将相邻的第二触摸电极连接。4.根据权利要求3所述的触摸传感器，其中，所述第一连接器或所述第二连接器设置在与所述第一层分隔开的第二层中，并且所述第一连接器和所述第二连接器中未设置在所述第二层中的任一个设置在所述第一层中。5.根据权利要求4所述的触摸传感器，所述触摸传感器还包括：第一连接线，连接到所述第一压力感测电极，并且与所述第一触摸电极、所述第二触摸电极、所述第一连接器和所述第二连接器绝缘；以及第二连接线，连接到所述第二压力感测电极，并且与所述第一触摸电极、所述第二触摸电极、所述第一连接器和所述第二连接器绝缘，其中，所述第一连接线和所述第二连接线设置在所述第二层中。6.根据权利要求2所述的触摸传感器，其中，所述第一压力感测电极中的每个包括第一主干电极以及从所述第一主干电极分支出的多个第一分支电极，所述第二压力感测电极中的每个包括第二主干电极以及从所述第二主干电极分支出的多个第二分支电极，并且所述第一分支电极和所述第二分支电极彼此分隔开。7.根据权利要求2所述的触摸传感器，其中，所述第二压力感测电极设置为在平面图中围绕所述第一压力感测电极。8.根据权利要求1所述的触摸传感器，其中，所述第一触摸电极是感测电极，并且所述第二触摸电极是驱动电极。9.根据权利要求8所述的触摸传感器，所述触摸传感器还包括：控制器，电连接到所述第一触摸电极、所述第二触摸电极、所述第一压力感测电极和所述第二压力感测电极，其中，所述控制器在第一时间段期间将第一驱动信号施加到所述第二触摸电极，并且在第二时间段期间将第二驱动信号施加到所述第二压力感测电极，所述第二时间段至少部分地不与所述第一时间段叠置。10.根据权利要求9所述的触摸传感器，其中，所述控制器在所述第一时间段期间从所述第一触摸电极接收响应于所述第一驱动信号而产生的第一感测信号，并且在所述第二时间段期间从所述第一压力感测电极接收响应于所述第二驱动信号而产生的第二感测信号。11.根据权利要求10所述的触摸传感器，其中，所述第二感测信号包括关于互静态电容的变化的信息或关于自电容的信息。12.根据权利要求1所述的触摸传感器，所述触摸传感器还包括：压力感测层，包括压敏材料，所述压敏材料具有根据压力的电阻变化，其中，所述压力感测层在所述第一压力感测电极上和所述第二压力感测电极上设置在所述第一触摸电极的所述开口中，并且与所述第一触摸电极分隔开。13.根据权利要求1所述的触摸传感器，所述触摸传感器还包括：噪声感测电极，检测噪声信号，其中，所述基体层具有第一区域以及与所述第一区域相邻的第二区域，所述第一压力感测电极和所述第二压力感测电极设置在所述第一区域中，所述第一触摸电极设置在所述第二区域和所述第一区域中，并且所述噪声感测电极在所述第二区域中设置所述第一触摸电极的所述开口中，并且与所述第一触摸电极隔开，其中，所述噪声感测电极设置在所述第一层中，并且包括与所述第一压力感测电极和所述第二压力感测电极相同的材料。14.根据权利要求13所述的触摸传感器，所述触摸传感器还包括：控制器，电连接到所述第一触摸电极、所述第二触摸电极和所述噪声感测电极，其中，所述控制器将第一驱动信号施加到所述第二触摸电极，从所述第一触摸电极接收响应于所述第一驱动信号而产生的第一感测信号，从所述噪声感测电极接收噪声信号，并且使用所述噪声信号来抵消包括在所述第一感测信号中的噪声。15.一种触摸传感器，所述触摸传感器包括：基体层；第一电极，设置在所述基体层上，布置在第一方向上，并且包括开口；第二电极，设置在所述基体层上，并且布置在与所述第一方向交叉的第二方向上；以及第三电极和第四电极，在平面图中设置在所述第一电极的所述开口中，与所述第一电极分隔开，并且彼此分开，其中，所述第三电极中的每个包括第一主干电极以及从所述第一主干电极分支出的多个第一分支电极，所述第四电极中的每个包括第二主干电极以及从所述第二主干电极分支出的多个第二分支电极，并且所述第一分支电极和所述第二分支电极彼此分隔开。

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