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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日：2019-06-06
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN112053965B
主分类号：H01L21/66
分类号：H01L21/66;H01L21/67;H01L21/687;G01L5/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2020.12.25#实质审查的生效;2020.12.08#公开
摘要：本发明提供一种晶片夹持装置扭矩测量系统，用于测量晶片夹持装置的扭矩，包括：支撑盘以及测力部件；所述支撑盘用于与所述晶片夹持装置的齿轮盘的一侧固定连接，且连接后所述支撑盘在所述齿轮盘的一侧的投影与所述齿轮盘的同心；所述测力部件用于与所述支撑盘连接，通过测量转动所述支撑盘的扭矩而得到所述晶片夹持装置的扭矩。通过本发明，可以准确地测试晶片夹持装置的扭矩。
主权项：1.一种晶片夹持装置扭矩测量系统，用于测量晶片夹持装置的扭矩，其特征在于，包括：支撑盘以及测力部件；所述支撑盘用于与所述晶片夹持装置的齿轮盘的一侧固定连接，且连接后所述支撑盘在所述齿轮盘的一侧的投影与所述齿轮盘同心；所述测力部件用于与所述支撑盘连接，通过测量转动所述支撑盘的扭矩而得到所述晶片夹持装置的扭矩，所述测力部件包括扭矩扳手和或拉力计；所述晶片夹持装置包括：外壳以及分别位于所述外壳内部的所述齿轮盘、多个偏心柱及弹簧；每个所述偏心柱设置在与所述齿轮盘啮合的一小齿轮上，所述齿轮盘用于通过所述小齿轮带动所述偏心柱运动；多个所述偏心柱用于夹持或松开晶片；所述弹簧一端与所述外壳内表面固定，所述弹簧另一端与所述齿轮盘连接，所述弹簧的拉力方向与所述齿轮盘的运动方向相反。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 晶片夹持装置扭矩测量系统
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