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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日：2020-07-15
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN111967137B
主分类号：G06F30/20
分类号：G06F30/20;G06F9/445
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2020.12.08#实质审查的生效;2020.11.20#公开
摘要：本申请实施例提供了一种半导体设备建模方法及装置，该方法包括：响应于添加指示操作，确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型，其中，添加指示操作用于选择设备模型对象中的待添加模型和设备模型树中的目标模型；利用对应于源控件的类型和所述目标控件的类型的校验模块，获取被选择的待添加模型的信息和被选择的目标模型的信息；基于预置的设备建模类型校验准则库，对待添加模型的信息和目标模型的信息进行校验，确定所述待添加模型是否可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点；显示指示待添加模型是否可以在所述设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果。本申请实施例具有更好的适用性。
主权项：1.一种半导体设备建模方法，其特征在于，所述方法包括：响应于添加指示操作，确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型，其中，添加指示操作用于选择所述设备模型对象中的待添加模型和所述设备模型树中的目标模型；利用对应于所述源控件的类型和所述目标控件的类型的校验模块，获取被选择的待添加模型的信息和被选择的目标模型的信息；基于预置的设备建模类型校验准则库，对所述待添加模型的信息和所述目标模型的信息进行校验，确定所述待添加模型是否可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点；显示指示所述待添加模型是否可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点的校验结果；其中，所述设备模型对象中的每一个模型各自关联一个与半导体生产设备的设备相关的数据结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 一种半导体设备建模方法及装置
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