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申请/专利权人：广东利元亨智能装备股份有限公司
申请日：2023-09-28
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN220975676U
主分类号：B65G47/248
分类号：B65G47/248;B65D6/08;H01L21/677;H01L21/673;H01L31/18
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权
摘要：本实用新型公开了翻转装置及生产线，翻转装置包括：花篮机构和对调机构，花篮机构包括用于储存多个硅片的花篮组件，花篮组件能够自转以翻面硅片；对调机构传动连接于花篮机构，用于切换花篮组件的位置。能够在维持硅片位置切换效率的同时提高硅片在翻面过程中的良品率。本实用新型应用于硅片运输设备领域。
主权项：1.一种翻转装置，其特征在于，包括：花篮机构，包括用于储存多个硅片的花篮组件，所述花篮组件能够自转以翻面硅片；对调机构，传动连接于所述花篮机构，用于切换所述花篮组件的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东利元亨智能装备股份有限公司 翻转装置及生产线
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