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申请/专利权人：江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日：2023-09-27
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN220984480U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权
摘要：本实用新型公开了一种汽化蚀刻装置，包括操作箱体、蚀刻液储槽，还包括雾化槽，雾化槽内设有多组锥形雾化结构，雾化槽底部设有供气管，锥形雾化结构包括锥形喷管、锥形罩，供气管与锥形喷管底部相连通，锥形罩罩设在锥形喷管上，锥形罩与锥形喷管之间的圆锥侧壁表面形成供液间隙，锥形罩上端设有与锥形喷管上端相对应的开口；雾化槽上端呈锥形，雾化槽顶部连接设有雾化出口管；利用气体穿过锥形喷管形成的负压吸引效应，将蚀刻液通过吸液管吸引至开口处，并与高速的气流相撞击从而形成颗粒度均匀细密的汽化的蚀刻液，再通过分支管上的文丘里管吸引并喷射至操作箱体内放置的蚀刻板表面上，从而可以做到将蚀刻液均匀覆盖在蚀刻板上的效果。
主权项：1.一种汽化蚀刻装置，包括操作箱体1、蚀刻液储槽2，其特征在于，还包括雾化槽3，所述雾化槽3与蚀刻液储槽2相连接，所述雾化槽3内设有多组锥形雾化结构4，所述雾化槽3底部设有供气管5，所述锥形雾化结构4包括锥形喷管6、锥形罩7，所述锥形喷管6固定设置在雾化槽3底部，供气管5与锥形喷管6底部相连通，所述锥形罩7罩设在锥形喷管6上，锥形罩7与锥形喷管6之间的圆锥侧壁表面形成供液间隙8，锥形罩7上端设有与锥形喷管6上端相对应的开口9；所述雾化槽3上端呈锥形，雾化槽3顶部连接设有雾化出口管10，雾化出口管10连接至操作箱体1内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江阴江化微电子材料股份有限公司 一种汽化蚀刻装置
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