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申请/专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司
申请日：2023-09-20
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN220982594U
主分类号：G01M3/26
分类号：G01M3/26
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权
摘要：本实用新型实施例提供一种测漏装置，该测漏装置包括充气口、气压计、泄压阀以及保压舱，所述充气口设置在连接气管的一端，所述连接气管的另一端连接所述保压舱，所述气压计设置在所述连接气管的中段，用于检测所述保压舱内的气压值，所述泄压阀设置在所述连接气管的中段，用于在侧漏完成后对所述保压舱进行泄压。本实用新型提供的测漏装置可以通过对保压舱抽至低压后进行保压，以此检测保压舱内部器件的气密性，从而提升了器件的气密性检测效率，极大缩减了检测时间以及步骤。
主权项：1.一种测漏装置，其特征在于，包括充气口、气压计、泄压阀以及保压舱；所述充气口设置在连接气管的一端，所述连接气管的另一端连接所述保压舱，所述气压计设置在所述连接气管的中段，用于检测所述保压舱内的气压值，所述泄压阀设置在所述连接气管的中段，用于在侧漏完成后对所述保压舱进行泄压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 粤芯半导体技术股份有限公司 测漏装置
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