申请/专利权人:湖南中科星城石墨有限公司
申请日:2023-09-28
公开(公告)日:2024-05-17
公开(公告)号:CN220977122U
主分类号:C23C14/24
分类号:C23C14/24;C23C14/54
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.05.17#授权
摘要:本实用新型提供了一种物理气相沉积装置,包括蒸发腔室、沉积腔室与驱动机构,所述蒸发腔室可拆卸连接所述沉积腔室,所述沉积腔室内设置有回转腔体,所述回转腔体连通所述蒸发腔室,所述驱动机构的中心转轴贯穿所述沉积腔室,并连接所述回转腔体远离蒸发腔室的一端,用于带动所述回转腔体转动。本实用新型采用动态旋转式的回转腔体,使得沉积过程中回转腔体内物料渗入更加均匀,适用于制备硅碳材料。
主权项:1.一种物理气相沉积装置,其特征在于,所述的物理气相沉积装置包括蒸发腔室、沉积腔室与驱动机构,所述蒸发腔室可拆卸连接所述沉积腔室,所述沉积腔室内设置有回转腔体,所述回转腔体连通所述蒸发腔室,所述驱动机构的中心转轴贯穿所述沉积腔室,并连接所述回转腔体远离蒸发腔室的一端,用于带动所述回转腔体转动。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 湖南中科星城石墨有限公司 一种物理气相沉积装置
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