申请/专利权人：瑞声科技(南京)有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2020-05-15

公开（公告）号：CN111156979A

主分类号：G01C19/56(20120101)

分类号：G01C19/56(20120101);G01C19/42(20060101);G01C19/16(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.03.04#授权;2020.06.09#实质审查的生效;2020.05.15#公开

摘要：本发明公开一种MEMS陀螺仪，涉及一种陀螺仪；包括谐振子和多个外部电极，所示外部电极呈圆周阵列分布在谐振子外围，所述谐振子为轴心对称的圆盘形网状结构，所述谐振子包括位于谐振子中心的锚点结构和螺旋线结构，所述螺旋线结构与锚点结构固定连接，所述螺旋线结构由多个螺旋线单元依所述锚点结构进行圆周阵列交织成网状；本发明基于圆盘型陀螺的优势，把螺旋线结构由螺旋线单元依起点进行圆周阵列组成构成，内置锚点，简化螺旋线段等手段以降低工艺难度，便于微纳加工，同时可降低谐振器变形量的宽度h，进而增大QTED；本发明利用螺旋线结构的对称特征，实现陀螺驱动模态与检测模态具有大品质因数，振型简并，且符合哥氏效应。

主权项：1.一种MEMS陀螺仪，包括谐振子和多个外部电极，所述外部电极呈圆周阵列分布在谐振子外围，其特征在于：所述谐振子为轴心对称的圆盘形网状结构，所述谐振子包括位于谐振子中心的锚点结构和螺旋线结构，所述螺旋线结构与锚点结构固定连接，所述螺旋线结构由多个螺旋线单元依所述锚点结构进行圆周阵列交织成网状；所述螺旋线单元包括自所述锚点结构上的同一起点端朝相反方向延伸的第一螺旋线和第二螺旋线，所述第一螺旋线和第二螺旋线的旋转方向相反，所述第一螺旋线与第二螺旋线朝同一终止端延伸并在所述终止端相连，所述第一螺旋线与所述第二螺旋相交于位于所述起点端远离所述终止端一侧的交点，所述起点端、所述终止端及所述交点共线，所述第一螺旋线与第二螺旋线关于起始端与终止端之间的连线轴对称，所述锚点结构覆盖部分所述螺旋线单元，所述外部电极固定于所述终止端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 瑞声科技(南京)有限公司 一种MEMS陀螺仪

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