申请/专利权人：瑞声科技(南京)有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2020-05-15

公开（公告）号：CN111156980A

主分类号：G01C19/56(20120101)

分类号：G01C19/56(20120101);G01C19/42(20060101);G01C19/16(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2024.04.05#发明专利申请公布后的驳回;2020.06.09#实质审查的生效;2020.05.15#公开

摘要：本发明公开了MEMS陀螺仪，包括第一环形件、设于第一环形件内侧的固定件、连接于第一环形件和固定件之间的连接件、以及环绕于第一环形件外周的外电极，外电极包括用于驱动第一环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动的驱动电极和用于检测第一环形件沿与第一方向的夹角呈45度方向和与第一方向的夹角呈135度方向振动的检测电极，第一环形件的外轮廓为正8N角星，其中，N为整数，且N≥2。本发明公开的MEMS陀螺仪通过设置第一环形件的外轮廓为正8N角星，利用星形的角部容易变形和结构对称的特征，一方面能够实现陀螺仪驱动模态与检测模态的简并，符合哥氏效应原理，另一方面星形的结构能够提升MEMS陀螺仪的品质因数提升陀螺仪的性能。

主权项：1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，包括第一环形件、设于所述第一环形件内侧的固定件、连接于所述第一环形件和所述固定件之间的连接件、以及环绕于所述第一环形件外周的外电极，所述外电极包括用于驱动所述第一环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动的驱动电极和用于检测所述第一环形件沿与所述第一方向的夹角呈45度方向和与所述第一方向的夹角呈135度方向振动的检测电极，所述第一环形件的外轮廓为正8N角星，其中，N为整数，且N≥2。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 瑞声科技(南京)有限公司 MEMS陀螺仪

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