申请/专利权人：瑞声科技(南京)有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2020-05-15

公开（公告）号：CN111156982A

主分类号：G01C19/56(20120101)

分类号：G01C19/56(20120101);G01C19/42(20060101);G01C19/16(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2024.04.05#发明专利申请公布后的驳回;2020.06.09#实质审查的生效;2020.05.15#公开

摘要：本发明公开了MEMS陀螺仪，包括具有空腔的固定件、设于空腔中的谐振环、以及设于谐振环内侧的第一电极，第一电极包括用于驱动谐振环沿相互垂直的第一方向和第二方向振动的驱动电极和用于检测谐振环沿与第一方向的夹角呈45度方向和与第一方向的夹角呈135度方向振动的检测电极，谐振环包括辐条和若干个设于固定件与第一电极之间且从固定件朝向第一电极依次嵌套的环形件，任意相邻的两个环形件之间、以及固定件与靠近固定件的环形件之间均通过辐条连接，环形件为正8N角星，其中，N为整数，且N≥2。本发明公开的MEMS陀螺仪通过设置环形件为正8N角星，降低了挠性变形宽度h，增大陀螺fT，进而提升陀螺品质因数和整个MEMS陀螺仪性能。

主权项：1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，包括具有空腔的固定件、设于所述空腔中的谐振环、以及设于所述谐振环内侧的第一电极，所述第一电极包括用于驱动所述谐振环沿相互垂直的第一方向和第二方向振动的驱动电极和用于检测所述谐振环沿与所述第一方向的夹角呈45度方向和与所述第一方向的夹角呈135度方向振动的检测电极，所述谐振环包括辐条和若干个设于所述固定件与所述第一电极之间且从所述固定件朝向所述第一电极依次嵌套的环形件，任意相邻的两个环形件之间、以及所述固定件与靠近所述固定件的所述环形件之间均通过所述辐条连接，所述环形件为正8N角星，其中，N为整数，且N≥2。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 瑞声科技(南京)有限公司 MEMS陀螺仪

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