申请/专利权人:株式会社德山
申请日:2018-11-16
公开(公告)日:2020-05-22
公开(公告)号:CN111194294A
主分类号:C01B33/107(20060101)
分类号:C01B33/107(20060101);B01J8/24(20060101)
优先权:["20171120 JP 2017-223141"]
专利状态码:失效-发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态:2023.07.14#发明专利申请公布后的视为撤回;2020.06.16#实质审查的生效;2020.05.22#公开
摘要:本发明提供一种流化床式反应装置1,能够不引起温度测定部的损伤稳定地测定流化床式反应装置1的内部温度分布。提供一种使金属硅粉与氯化氢气体反应而生成三氯硅烷的流化床式反应装置1,其中,在反应容器10的外表面具备多个用于测定反应容器10的内部温度的温度测定部50。
主权项:1.一种流化床式反应装置,用于使金属硅粉与氯化氢气体反应而生成三氯硅烷,其特征在于,在所述流化床式反应装置所具备的反应容器的外表面具备多个用于测定所述反应容器的内部温度的温度测定部。
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