申请/专利权人：吉林大学

申请日：2020-03-20

公开（公告）日：2020-07-03

公开（公告）号：CN111360415A

主分类号：B23K26/362(20140101)

分类号：B23K26/362(20140101);B23K26/082(20140101);B23K26/064(20140101);B23K26/352(20140101);B23K26/70(20140101);B08B3/08(20060101);B08B3/12(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.03.30#授权;2020.07.28#实质审查的生效;2020.07.03#公开

摘要：本发明公开了一种利用化学处理辅助激光加工制备金刚石涡旋光束发生器的方法及其应用，属于飞秒激光加工技术领域，本发明通过紫外飞秒激光直写在金刚石样品表面刻写设计的螺旋波带片结构，之后对样品进行超声清洗以及化学处理，最终制备得到金刚石表面的涡旋光束发生器。其主要原理是利用热的混合酸溶液与激光焦点和金刚石表面作用过程中生成的石墨化物质进行化学反应从而对其彻底去除，避免其对所得结构形貌带来的不利影响，得到低粗糙度、光学性能优良的涡旋光束发生器元件。

主权项：1.一种利用化学处理辅助激光加工制备金刚石涡旋光束发生器的方法，具体步骤如下：1金刚石样品的制备；具体步骤为：首先，将待激光加工的高温高压金刚石颗粒依次放入装有丙酮、乙醇、去离子水的离心管进行超声清洗，时间各15min；然后将其用镊子取出晾干；最后用油性笔标记出样品上表面及待加工区域，方便后续观察实验结果；2飞秒激光直写；具体步骤为：加工时首先将步骤1制备的金刚石样品固定在加工物镜下的压电平台上；然后利用CCD相机找到样品表面激光焦点所在位置，将样品待加工范围中心与激光焦点对准,飞秒激光按照预先设计的加工程序在计算机控制下进行逐点扫描；最后扫描完成将样品取下后依次用丙酮、乙醇、去离子水超声清洗，晾干；3化学处理激光加工后的金刚石样品；具体步骤为：首先将浓硫酸在室温下边滴入浓硝酸中边摇动使两者混合均匀，配制混合酸溶液；然后取混合酸溶液加入离心管中，再将步骤2超声清洗后的金刚石样品放入该离心管中，将离心管盖好放入水热反应烘箱中进行恒温加热；最后将反应后的金刚石样品取出，用去离子水冲洗三次，之后晾干。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 吉林大学 一种利用化学处理辅助激光加工制备金刚石涡旋光束发生器的方法及其应用

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