申请/专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司

申请日：2020-07-10

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN211507601U

主分类号：H01L21/687(20060101)

分类号：H01L21/687(20060101);H01L21/67(20060101);F26B21/14(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.09.15#授权

摘要：一种晶圆液下偏转装置以及晶圆处理装置，包括晶圆托架和用于驱动晶圆托架在第一定向和第二定向之间摆动的驱动机构，其中所述驱动机构控制所述晶圆托架以符合预定的角速度‑时间曲线的方式从所述第一定向摆动到第二定向，所述角速度‑时间曲线包括至少一个加速段和至少一个减速段，每一个所述加速段和减速段中的瞬时加速度绝对值小于等于200rads2。

主权项：1.一种晶圆液下偏转装置，包括晶圆托架和用于驱动晶圆托架在第一定向和第二定向之间摆动的驱动机构，其中所述驱动机构控制所述晶圆托架以符合预定的角速度-时间曲线的方式从所述第一定向摆动到第二定向，所述角速度-时间曲线包括至少一个加速段和至少一个减速段，每一个所述加速段和减速段中的瞬时加速度绝对值小于等于200rads2。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 清华大学;华海清科股份有限公司 晶圆液下偏转装置以及晶圆处理装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD