申请/专利权人：浙江大学

申请日：2019-12-30

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111045149B

主分类号：G02B6/13(20060101)

分类号：G02B6/13(20060101);G02B6/134(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-未缴年费专利权终止

法律状态：2022.12.09#未缴年费专利权终止;2020.05.15#实质审查的生效;2020.04.21#公开

摘要：本发明公开了一种连续式制作玻璃基离子交换掩埋光波导的方法。放置隧道式高温炉，隧道式高温炉内设有传送带和坩埚，传送带上悬挂有石英花篮，石英花篮沿传送带运输，隧道式高温炉设置有正电极滑轨，正电极滑轨其中一端经导线连接到外部直流电源的正极，坩埚内设置负电极并和外部直流电源的负极连接，石英花篮内设置正电极并和正电极滑轨连接；传送带的驱动结构作用下，传送带将石英花篮从隧道式高温炉的进口端输送入隧道式高温炉，经高温离子迁移反应后输送至隧道式高温炉的出口端。本发明提高了光波导芯片的一致性，使芯片合格率控制更方便，减少了固定资产投资，提高了光波导芯片的生产效率，降低了单位芯片的能耗。

主权项：1.一种连续式制作玻璃基离子交换掩埋光波导的方法，其特征在于：放置隧道式高温炉15，隧道式高温炉15两端开设炉口分别作为进口端和出口端，且在隧道式高温炉15的进口端和出口端之间布置水平的传送带16；隧道式高温炉15内进口端和出口端之间放置坩埚3，传送带16上悬挂有石英花篮19，石英花篮19被传送带16带动并沿传送带16运输，传送带16的传送轮连接驱动结构17，隧道式高温炉15设置有正电极滑轨18，正电极滑轨18其中一端经的导线21连接到外部直流电源12的正极，坩埚3内设置负电极10并和外部直流电源12的负极连接，石英花篮19内设置正电极9并和正电极滑轨18连接；传送带16的驱动结构17作用下，传送带16将石英花篮19从隧道式高温炉15的进口端输送入隧道式高温炉15，经高温离子迁移反应后输送至隧道式高温炉15的出口端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江大学 一种连续式制作玻璃基离子交换掩埋光波导的方法

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