申请/专利权人：先进工程解决方案全球控股私人有限公司

申请日：2018-01-31

公开（公告）日：2020-10-16

公开（公告）号：CN111788331A

主分类号：C23C14/34(20060101)

分类号：C23C14/34(20060101);C23C14/35(20060101);H01J37/34(20060101)

优先权：["20171215 US 15/844,438"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.11.03#实质审查的生效;2020.10.16#公开

摘要：公开了溅射系统和方法。该系统包括第一电源，第一电源被配置为在第一电极处施加在多次循环中的每次期间相对于第二电极在正和负之间交变的第一电压。第二电源耦合到第三电极和第二电极，第二电源被配置为向第三电极施加在该多次循环中的每次期间相对于第二电极在正和负之间交变的第二电压。控制器被配置为控制第一电源和第二电源，以使第一电压与第二电压相位同步，从而使第一电压和第二电压两者在每次循环的一部分期间相对于第二电极同时为负，并且在每次循环的另一部分期间相对于第二电极同时为正。

主权项：1.一种脉冲溅射系统，包括：至少包含第一电极、第二电极和第三电极的等离子体室；耦合到所述第一电极和所述第二电极的第一电源，所述第一电源被配置为在所述第一电极处施加在多次循环中的每次期间相对于所述第二电极在正和负之间交变的第一电压；耦合到所述第三电极和所述第二电极的第二电源，所述第二电源被配置为向所述第三电极施加在所述多次循环中的每次期间相对于所述第二电极在正和负之间交变的第二电压；以及控制器，所述控制器被配置为控制所述第一电源和所述第二电源，以使所述第一电压与所述第二电压相位同步，从而使所述第一电压和所述第二电压两者在每次循环的一部分期间相对于所述第二电极同时为负，并且在每次循环的另一部分期间相对于所述第二电极同时为正。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 先进工程解决方案全球控股私人有限公司 速率增强脉冲DC溅射系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD