申请/专利权人：琳得科株式会社

申请日：2018-12-21

公开（公告）日：2020-10-16

公开（公告）号：CN111788659A

主分类号：H01L21/301(20060101)

分类号：H01L21/301(20060101);H01L21/683(20060101)

优先权：["20180509 JP 2018-090981"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.11.03#实质审查的生效;2020.10.16#公开

摘要：一种能够在不向粘接片极力赋予张力的情况下使被粘物单片化而形成单片体的单片体形成装置，是使被粘物WF单片化而形成单片体CP的单片体形成装置EA，其具备：片粘贴单元10，其将添加有通过赋予规定的能量IR而膨胀的膨胀性微粒SG的粘接片AS粘贴于被粘物WF；改性部形成单元20，其在被粘物WF上形成改性部MT，并在被粘物WF上形成被该改性部MT围绕的单片化预定区域WFP；以及单片化单元30，其向被粘物WF赋予外力，以改性部MT为起点在该被粘物WF上形成裂缝CK，并使该被粘物WF单片化而形成单片体CP，单片化单元30对粘接片AS局部地赋予能量IR，使被赋予该能量IR的粘接片局部ASP中添加的膨胀性微粒SG膨胀，并使粘贴于该粘接片局部ASP的单片化预定区域WFP位移而形成单片体CP。

主权项：1.一种单片体形成装置，其使被粘物单片化而形成单片体，其特征在于，具备：片粘贴单元，其将粘接片粘贴于所述被粘物，所述粘接片添加有通过赋予规定的能量而膨胀的膨胀性微粒；改性部形成单元，其在所述被粘物上形成改性部，并在所述被粘物上形成被该改性部围绕、或者被该改性部和所述被粘物的外缘围绕的单片化预定区域；以及单片化单元，其向所述被粘物赋予外力，以所述改性部为起点在该被粘物上形成裂缝，并使该被粘物单片化而形成所述单片体，所述单片化单元对所述粘接片局部地赋予所述能量，使被赋予该能量的粘接片局部中所添加的所述膨胀性微粒膨胀，并使粘贴于该粘接片局部的所述单片化预定区域位移而形成所述单片体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 琳得科株式会社 单片体形成装置及单片体形成方法

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