申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司

申请日：2020-09-17

公开（公告）日：2021-01-05

公开（公告）号：CN112185470A

主分类号：G16C10/00(20190101)

分类号：G16C10/00(20190101);G16C60/00(20190101);G01N21/3563(20140101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.07.06#授权;2021.01.22#实质审查的生效;2021.01.05#公开

摘要：本发明实施例提供了一种数据处理方法，利用采用红外透射方式进行采样的第一测试方法测量多个薄膜样本的红外吸收光谱，得到所述薄膜样本中第一化学键对应的第一数据集；其中，基于所述第一数据集中的数据，利用第一计量公式，能够得到薄膜样本中所述第一化学键的含量；利用采用红外多次衰减全反射方式进行采样的第二测试方法测量所述多个薄膜样本的红外吸收光谱，得到所述第一化学键对应的第二数据集；确定所述第一数据集中的数据和所述第二数据集中的数据的关联度；基于所述关联度和所述第一计量公式，得到第二计量公式；其中，基于所述第二数据集中的数据，并结合所述第二计量公式，能够得到所述薄膜样本中所述第一化学键的含量。

主权项：1.一种数据处理方法，其特征在于，包括：利用采用红外透射方式进行采样的第一测试方法测量多个薄膜样本的红外吸收光谱，得到所述薄膜样本中第一化学键对应的第一数据集；其中，基于所述第一数据集中的数据，利用第一计量公式，能够得到薄膜样本中所述第一化学键的含量；利用采用红外多次衰减全反射方式进行采样的第二测试方法测量所述多个薄膜样本的红外吸收光谱，得到所述第一化学键对应的第二数据集；确定所述第一数据集中的数据和所述第二数据集中的数据的关联度；基于所述关联度和所述第一计量公式，得到第二计量公式；其中，基于所述第二数据集中的数据，并结合所述第二计量公式，能够得到所述薄膜样本中所述第一化学键的含量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长江存储科技有限责任公司 数据处理方法

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